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非晶铟镓锌氧基薄膜晶体管与肖特基二极管电学稳定性研究

摘要第4-6页
Abstract第6-7页
第一章 绪论第9-25页
    1.1 引言第9-10页
    1.2 金属氧化物半导体发展背景和发展现状第10-13页
    1.3 非晶IGZO材料基本性质第13-16页
    1.4 非晶IGZO TFT的应用前景与研究现状第16-17页
    1.5 非晶IGZO SBD的应用前景与研究现状第17-18页
    1.6 本论文主要研究内容第18-20页
    参考文献第20-25页
第二章 a-IGZO TFTs变温条件下栅压稳定性研究第25-39页
    2.1 研究背景第25-26页
    2.2 a-IGZO TFTs器件的制备及电学特性第26-29页
    2.3 a-IGZO TFTs变温条件下栅压稳定性第29-36页
    2.4 本章小结第36-37页
    参考文献第37-39页
第三章 a-IGZO SBDs负偏压条件下电学稳定性研究第39-51页
    3.1 研究背景第39-40页
    3.2 a-IGZO SBDs的制备及电学特性第40-41页
    3.3 a-IGZO SBDs负偏压条件下电学稳定性第41-48页
    3.4 本章小结第48-49页
    参考文献第49-51页
第四章 结论与展望第51-53页
    4.1 主要结论第51-52页
    4.2 研究展望第52-53页
发表论文目录第53-54页
致谢第54-55页

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