多功能数字全息激光干涉直写系统的开发
| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 1 前言 | 第11-17页 |
| 1.1 研究背景 | 第11页 |
| 1.2 研究现状 | 第11-15页 |
| 1.2.1 微制造技术发展现状 | 第11-14页 |
| 1.2.2 全息术发展历程 | 第14页 |
| 1.2.3 计算全息术 | 第14-15页 |
| 1.3 本文研究内容及结构安排 | 第15-17页 |
| 2 原理 | 第17-31页 |
| 2.1 激光干涉光刻技术 | 第17页 |
| 2.2 激光干涉光刻基础理论 | 第17-24页 |
| 2.2.1 光波干涉理论 | 第17-20页 |
| 2.2.2 光波衍射理论 | 第20-22页 |
| 2.2.3 光栅衍射理论 | 第22-24页 |
| 2.3 全息光学理论 | 第24-31页 |
| 2.3.1 平面波的菲涅尔衍射理论 | 第24-26页 |
| 2.3.2 计算全息图制作原理 | 第26-31页 |
| 3 系统样机设计 | 第31-41页 |
| 3.1 结构设计 | 第31-33页 |
| 3.2 器件选型 | 第33-41页 |
| 3.2.1 光源 | 第33-34页 |
| 3.2.2 空间光调制器 | 第34-36页 |
| 3.2.3 二维运动平台 | 第36-37页 |
| 3.2.4 运动控制卡 | 第37-39页 |
| 3.2.5 显微物镜 | 第39-41页 |
| 4 图像处理算法与系统控制软件 | 第41-53页 |
| 4.1 数字图像处理算法 | 第41-48页 |
| 4.1.1 衍射光学元件(DOE) | 第41-43页 |
| 4.1.2 光学可变图像 | 第43-46页 |
| 4.1.3 消色散光变图像 | 第46-47页 |
| 4.1.4 全视差合成计算全息图 | 第47-48页 |
| 4.2 系统控制软件的分析与设计 | 第48-53页 |
| 4.2.1 软件功能分析 | 第48-49页 |
| 4.2.2 软件工作流程 | 第49-50页 |
| 4.2.3 软件界面简介 | 第50-53页 |
| 5 系统样机测试及光刻实验 | 第53-67页 |
| 5.1 系统实现 | 第53-57页 |
| 5.1.1 系统搭建 | 第53-55页 |
| 5.1.2 系统性能测试 | 第55-57页 |
| 5.1.3 系统性能分析 | 第57页 |
| 5.2 光刻实验 | 第57-67页 |
| 5.2.1 衍射光学元件 | 第57-58页 |
| 5.2.2 光学可变图像 | 第58-61页 |
| 5.2.3 消色散光变图像 | 第61-62页 |
| 5.2.4 计算全息图 | 第62-67页 |
| 5.2.4.1 菲涅尔计算全息图 | 第62-63页 |
| 5.2.4.2 全视差合成计算全息图 | 第63-67页 |
| 6 总结与展望 | 第67-69页 |
| 6.1 研究工作总结 | 第67页 |
| 6.2 研究工作展望 | 第67-69页 |
| 参考文献 | 第69-73页 |
| 致谢 | 第73-75页 |
| 个人简历 | 第75页 |
| 发表的学术论文 | 第75页 |
