| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-22页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第9-13页 |
| 1.2 1-3 型压电复合材料的研究现状及分析 | 第13-20页 |
| 1.2.1 1-3 型压电复合材料研究概述 | 第13-14页 |
| 1.2.2 1-3 型压电复合材料的理论研究 | 第14-15页 |
| 1.2.3 1-3 型压电复合材料制备方法与工艺的研究 | 第15-20页 |
| 1.3 本文的主要研究内容 | 第20-22页 |
| 第2章 实验设备、材料及方法 | 第22-28页 |
| 2.1 实验设备 | 第22页 |
| 2.2 实验材料 | 第22-23页 |
| 2.3 实验方法 | 第23-25页 |
| 2.3.1 陶瓷的切割 | 第23-24页 |
| 2.3.2 复合材料的研磨 | 第24-25页 |
| 2.3.3 表面电极的制备 | 第25页 |
| 2.4 材料性能表征方法 | 第25-28页 |
| 2.4.1 材料表面形貌分析 | 第25页 |
| 2.4.2 物相和结构分析 | 第25-26页 |
| 2.4.3 薄膜电阻率的测量 | 第26-27页 |
| 2.4.4 压电性能参数测量 | 第27-28页 |
| 第3章 切割-填充法制备 1-3 型压电复合材料 | 第28-37页 |
| 3.1 引言 | 第28页 |
| 3.2 PZT 和 EPOXY 材料的分析测试 | 第28-30页 |
| 3.3 复合材料的结构设计 | 第30-31页 |
| 3.4 PZT 陶瓷片的切割与填充 | 第31-33页 |
| 3.5 1-3 型压电复合材料的表面研磨 | 第33-34页 |
| 3.6 加工过程中缺陷的产生及原因分析 | 第34-35页 |
| 3.7 本章小结 | 第35-37页 |
| 第4章 表面电极的制备及性能表征 | 第37-46页 |
| 4.1 引言 | 第37-38页 |
| 4.2 表面薄膜电极的制备及溅射速率 | 第38-39页 |
| 4.2.1 表面电极的制备 | 第38页 |
| 4.2.2 溅射速率 | 第38-39页 |
| 4.3 薄膜电极的表面形貌及结构分析 | 第39-43页 |
| 4.4 薄膜电极的电阻率 | 第43-44页 |
| 4.5 本章小结 | 第44-46页 |
| 第5章 1-3 型压电复合材料的性能表征 | 第46-56页 |
| 5.1 引言 | 第46页 |
| 5.2 压电复合材料基本参数测量 | 第46-47页 |
| 5.3 压电复合材料性能参数的计算 | 第47页 |
| 5.4 压电复合材料的性能分析 | 第47-55页 |
| 5.4.1 PZT 与复合材料性能比较 | 第47-51页 |
| 5.4.2 复合材料的性能与厚度的关系 | 第51-55页 |
| 5.5 本章小结 | 第55-56页 |
| 结论 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-63页 |
| 致谢 | 第63页 |