| 中文摘要 | 第4-6页 |
| abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第10-17页 |
| 1.1 光栅激光选频 | 第10-12页 |
| 1.2 蓝绿波段激光器 | 第12-14页 |
| 1.3 多层介质膜光栅的研究进展 | 第14-16页 |
| 1.4 本论文的主要工作内容 | 第16-17页 |
| 第二章 多层介质膜光栅的严格耦合波理论 | 第17-27页 |
| 2.1 光栅的衍射理论 | 第17-18页 |
| 2.2 多层介质膜光栅的衍射效率计算 | 第18-24页 |
| 2.3 基于RCWA的多层介质膜光栅衍射效率程序验证 | 第24-26页 |
| 本章小结 | 第26-27页 |
| 第三章 蓝绿激光选频多层介质膜光栅的设计与分析 | 第27-50页 |
| 3.1 多层介质膜光栅的设计思路 | 第27-35页 |
| 3.1.1 不同空频下高反多层介质膜系的设计 | 第29-31页 |
| 3.1.2 不同空频下光栅槽形的优化 | 第31-33页 |
| 3.1.3 3875line/mm多层介质膜光栅的优化结果 | 第33-35页 |
| 3.2 1740line/mm多层介质膜光栅的设计与优化 | 第35-48页 |
| 3.2.1 不同膜层材料下的优化 | 第35-39页 |
| 3.2.2 引入匹配层提高光栅的衍射效率和带宽 | 第39-44页 |
| 3.2.3 介质膜系的结构优化 | 第44-45页 |
| 3.2.4 不同顶层厚度下工艺容差分析 | 第45-48页 |
| 3.3 多层介质膜光栅的设计总结 | 第48-50页 |
| 第四章 蓝绿波段激光选频多层介质膜光栅的制备 | 第50-64页 |
| 4.1 光刻胶掩模的实验制备 | 第51-53页 |
| 4.2 光刻胶掩模光栅的实验结果分析 | 第53-55页 |
| 4.3 离子束刻蚀实验 | 第55-56页 |
| 4.4 光栅的效率测试和误差分析 | 第56-63页 |
| 本章小结 | 第63-64页 |
| 第五章 总结与展望 | 第64-66页 |
| 5.1 本论文工作总结 | 第64-65页 |
| 5.2 工作展望 | 第65-66页 |
| 参考文献 | 第66-70页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第70-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
