| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第11-18页 |
| 1.1 纳米结构概论 | 第11-12页 |
| 1.2 模板合成纳米阵列 | 第12-14页 |
| 1.3 低温等离子体在成膜上的应用 | 第14-16页 |
| 1.4 本课题研究内容与目的 | 第16-18页 |
| 第二章 利用纳米孔洞模板等离子体沉积金属点阵的研究 | 第18-31页 |
| 2.1 引言 | 第18-20页 |
| 2.2 理论模型与方法 | 第20-23页 |
| 2.3 研究结果 | 第23-28页 |
| 2.4 讨论分析 | 第28-29页 |
| 2.5 本章小结 | 第29-31页 |
| 第三章 利用氧化铝模板沉积介质材料时的离子流分布 | 第31-42页 |
| 3.1 引言 | 第31-32页 |
| 3.2 理论模型与方法 | 第32-35页 |
| 3.3 研究结果和讨论 | 第35-40页 |
| 3.4 本章小结 | 第40-42页 |
| 第四章 等离子体环境下利用球珠模板刻蚀聚合物材料 | 第42-63页 |
| 4.1 引言 | 第42-44页 |
| 4.2 理论模型与方法 | 第44-47页 |
| 4.3 研究结果 | 第47-56页 |
| 4.4 讨论分析 | 第56-61页 |
| 4.5 本章小结 | 第61-63页 |
| 第五章 全文总结 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-75页 |
| 致谢 | 第75-77页 |
| 攻读硕士学位期间取得的科研成果 | 第77-78页 |