| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第7-14页 |
| 1.1 面内位移测量方法概述 | 第7-9页 |
| 1.1.1 云纹干涉法 | 第7页 |
| 1.1.2 散斑干涉法 | 第7-8页 |
| 1.1.3 激光多普勒测量法 | 第8页 |
| 1.1.4 主要面内位移测量方法比较 | 第8-9页 |
| 1.2 激光回馈测量技术 | 第9-13页 |
| 1.2.1 激光回馈主要理论研究进展 | 第9-11页 |
| 1.2.2 激光回馈主要应用研究进展 | 第11-13页 |
| 1.3 论文选题意义与主要内容 | 第13页 |
| 1.3.1 论文选题意义 | 第13页 |
| 1.3.2 论文主要研究内容 | 第13页 |
| 1.4 本章小结 | 第13-14页 |
| 第2章 面内位移测量原理及方法 | 第14-21页 |
| 2.1 微片激光回馈位移测量原理 | 第14-15页 |
| 2.2 激光回馈干涉法测量面内位移的原理 | 第15-18页 |
| 2.3 光路设计 | 第18-20页 |
| 2.4 本章小结 | 第20-21页 |
| 第3章 面内位移测量系统的设计与搭建 | 第21-33页 |
| 3.1 光学单元设计 | 第21-26页 |
| 3.1.1 微片激光器 | 第21-22页 |
| 3.1.2 微片激光器的特性 | 第22-24页 |
| 3.1.3 声光移频器 | 第24-25页 |
| 3.1.4 其他光学元件 | 第25-26页 |
| 3.2 信号处理单元搭建 | 第26-27页 |
| 3.3 软件单元设计 | 第27-32页 |
| 3.3.1 基于数字相位卡的测量程序 | 第28页 |
| 3.3.2 基于数字锁相放大器的测量程序 | 第28-32页 |
| 3.4 本章小结 | 第32-33页 |
| 第4章 激光回馈面内位移测量系统参数标定及其性能分析 | 第33-49页 |
| 4.1 面内位移测量系统的系统参数标定 | 第33-34页 |
| 4.2 系统的性能测试及分析 | 第34-40页 |
| 4.2.1 零位漂移 | 第34-35页 |
| 4.2.2 工作量程 | 第35-37页 |
| 4.2.3 测量速度 | 第37-38页 |
| 4.2.4 分辨率 | 第38-39页 |
| 4.2.5 线性度 | 第39-40页 |
| 4.3 误差分析 | 第40-46页 |
| 4.3.1 光束发散引起的误差 | 第40-42页 |
| 4.3.2 透镜球差引起的误差 | 第42-43页 |
| 4.3.3 被测目标表面凹凸不平引起的误差 | 第43-45页 |
| 4.3.4 导轨运动引起的误差 | 第45-46页 |
| 4.4 系统改进 | 第46-48页 |
| 4.5 本章小结 | 第48-49页 |
| 第5章 基于激光回馈效应的远距离振动测量研究 | 第49-55页 |
| 5.1 本章引言 | 第49-50页 |
| 5.2 系统整体结构和工作原理 | 第50-52页 |
| 5.3 远距离系统信号测试 | 第52-53页 |
| 5.3.1 远距离信号强度测试 | 第52页 |
| 5.3.2 远距离振动测试 | 第52-53页 |
| 5.4 实验结果分析 | 第53-54页 |
| 5.5 本章小结 | 第54-55页 |
| 第6章 总结与展望 | 第55-57页 |
| 6.1 论文工作总结 | 第55页 |
| 6.2 展望 | 第55-57页 |
| 致谢 | 第57-58页 |
| 主要参考文献 | 第58-62页 |
| 硕士期间论文发表及科研情况 | 第62-63页 |