电致发光（EL）对产业化常规晶硅太阳能电池的检测与分析
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-25页 |
| 1.1 研究背景 | 第9页 |
| 1.2 太阳能电池发展现状 | 第9-10页 |
| 1.3 产业化常规晶硅太阳能电池的工艺流程 | 第10-23页 |
| 1.3.1 一洗工艺 | 第12-13页 |
| 1.3.2 扩散工艺 | 第13-15页 |
| 1.3.3 湿法刻蚀工艺 | 第15-17页 |
| 1.3.4 PECVD工艺 | 第17页 |
| 1.3.5 丝网印刷工艺 | 第17-18页 |
| 1.3.6 测试分选 | 第18-20页 |
| 1.3.7 电致发光(EL)测试 | 第20-23页 |
| 1.4 论文依据及研究内容 | 第23-25页 |
| 1.4.1 论文依据 | 第23-24页 |
| 1.4.2 研究内容 | 第24-25页 |
| 第二章 电致发光(EL)检测对电池不同缺陷的研究 | 第25-65页 |
| 2.1 引言 | 第25-26页 |
| 2.2 实验部分 | 第26-27页 |
| 2.2.1 实验所用的材料及生产设备 | 第26页 |
| 2.2.2 对工艺生产中非正常电池片的搜集 | 第26-27页 |
| 2.2.3 表征方法 | 第27页 |
| 2.3 实验结果与分析 | 第27-64页 |
| 2.3.1 员工操作造成的缺陷 | 第27-46页 |
| 2.3.1.1 对划痕缺陷的研究 | 第27-30页 |
| 2.3.1.2 对PECVD打火缺陷的研究 | 第30-32页 |
| 2.3.1.3 对黑片缺陷的研究 | 第32-37页 |
| 2.3.1.4 对黑斑、黑点缺陷的研究 | 第37-46页 |
| 2.3.2 工艺参数异常造成的缺陷 | 第46-57页 |
| 2.3.2.1 对过刻缺陷的研究 | 第46-48页 |
| 2.3.2.2 对裂片缺陷的研究 | 第48-51页 |
| 2.3.2.3 对虚印缺陷的研究 | 第51-52页 |
| 2.3.2.4 对过烧缺陷的研究 | 第52-53页 |
| 2.3.2.5 对断栅缺陷的研究 | 第53-57页 |
| 2.3.3 原始硅片异常造成的缺陷 | 第57-64页 |
| 2.3.3.1 对穿孔缺陷的研究 | 第57-58页 |
| 2.3.3.2 对同心圆发黑缺陷的研究 | 第58-59页 |
| 2.3.3.3 对倒角发黑缺陷的研究 | 第59-64页 |
| 2.4 本章小结 | 第64-65页 |
| 第三章 结论与展望 | 第65-67页 |
| 参考文献 | 第67-70页 |
| 致谢 | 第70页 |
