基于COMSOL软件的双腔室射频感性耦合氩等离子体源的二维流体力学模拟
| 摘要 | 第2-3页 |
| Abstract | 第3-4页 |
| 1 绪论 | 第6-13页 |
| 1.1 中性束加热系统 | 第6-7页 |
| 1.2 离子源系统 | 第7-9页 |
| 1.3 感应耦合等离子体的特性 | 第9-12页 |
| 1.4 本文研究内容与研究意义 | 第12-13页 |
| 2 基于欧姆加热机制的等离子体流体力学模拟 | 第13-28页 |
| 2.1 COMSOL软件简介 | 第13页 |
| 2.2 感性耦合等离子体的基本方程 | 第13-16页 |
| 2.2.1 电磁场模块 | 第13-14页 |
| 2.2.2 电子流体模块 | 第14-15页 |
| 2.2.3 重粒子模块 | 第15-16页 |
| 2.3 玻尔兹曼求解器 | 第16-19页 |
| 2.4 结果与讨论 | 第19-28页 |
| 2.4.1 放电装置简介 | 第19-20页 |
| 2.4.2 模拟结果 | 第20-28页 |
| 3 无碰撞加热效应及射频电场的反常趋肤行为 | 第28-43页 |
| 3.1 模型简介 | 第28页 |
| 3.2 理论推导 | 第28-29页 |
| 3.3 结果展示 | 第29-43页 |
| 3.3.1 动力学模型计算结果 | 第30-35页 |
| 3.3.2 修正的流体模型计算结果 | 第35-43页 |
| 结论 | 第43-45页 |
| 参考文献 | 第45-50页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第50-51页 |
| 致谢 | 第51-53页 |
