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APCVD制备大面积石墨烯薄膜的研究

摘要第3-6页
ABSTRACT第6-9页
第一章 绪论第13-37页
    1.1 引言第13-15页
    1.2 石墨烯的结构和性质第15-21页
        1.2.1 石墨烯的结构第15-16页
        1.2.2 石墨烯的电学性质第16-17页
        1.2.3 石墨烯的光学性质第17-18页
        1.2.4 石墨烯的热学性质第18-20页
        1.2.5 石墨烯的力学性质第20-21页
    1.3 石墨烯分类及制备方法第21-25页
        1.3.1 石墨烯薄膜第22-23页
        1.3.2 石墨烯粉体第23-24页
        1.3.3 三维石墨烯第24-25页
    1.4 石墨烯薄膜的化学气相沉积法(CVD)制备第25-32页
        1.4.1 CVD石墨烯的一般过程第25-26页
        1.4.2 石墨烯生长机理的一般理解第26-27页
        1.4.3 固态碳源CVD石墨烯第27-29页
        1.4.4 液态碳源CVD石墨烯第29-31页
        1.4.5 石墨烯生长动力学第31-32页
    1.5 石墨烯的应用第32-35页
        1.5.1 石墨烯应用于电子器件第33页
        1.5.2 石墨烯应用于光学器件第33-34页
        1.5.3 石墨烯应用于传感器第34-35页
    1.6 研究的意义和主要内容第35-37页
第二章 实验过程及表征测试方法第37-49页
    2.0 引言第37页
    2.1 APCVD实验装置第37-38页
    2.2 实验仪器及材料第38-40页
        2.2.1 实验所用的仪器第38-39页
        2.2.2 实验所用材料第39-40页
    2.3 实验方法第40-43页
        2.3.1 以铜箔为基体制备石墨烯薄膜第40-41页
        2.3.2 以镁箔为基体制备无定形石墨烯第41-42页
        2.3.3 石墨烯转移的一般过程第42-43页
    2.4 分析和测试方法第43-49页
        2.4.1 光学显微镜第43-44页
        2.4.2 拉曼光谱第44-46页
        2.4.3 原子力显微镜第46-47页
        2.4.4 透射电子显微镜第47页
        2.4.5 分光光度计第47页
        2.4.6 四探针电阻率测试仪第47-49页
第三章 低温APCVD铜箔表面制备石墨烯薄膜第49-63页
    3.1 引言第49页
    3.2 铜箔的预处理第49-52页
    3.3 制备参数对石墨烯薄膜质量的影响第52-61页
        3.3.1 高温下试制石墨烯第52-55页
        3.3.2 低温下制备高质量的石墨烯第55-58页
        3.3.3 氢气浓度对石墨烯的影响第58-60页
        3.3.4 低温下制备石墨烯的机理第60-61页
    3.4 本章小结第61-63页
第四章 低温APCVD镁箔表面制备无定形石墨烯第63-73页
    4.1 引言第63-64页
    4.2 镁箔的预处理第64-67页
    4.3 镁箔表面制备无定形石墨烯第67-71页
        4.3.1 试探性制备石墨烯第67-69页
        4.3.2 温度对样品的影响第69-71页
    4.4 本章小结第71-73页
第五章 结论与展望第73-75页
    5.1 结论第73-74页
    5.2 展望第74-75页
参考文献第75-87页
致谢第87-89页
攻读硕士期间发表的论文及研究成果第89页

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