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石墨烯基光电器件的制备与性能研究

摘要第4-6页
ABSTRACT第6-7页
第一章 绪论第11-29页
    1.1 石墨烯材料概述第11-23页
        1.1.1 石墨烯材料结构第11-13页
        1.1.2 石墨烯材料性质第13-16页
        1.1.3 石墨烯材料制备方法第16-19页
        1.1.4 石墨烯材料的应用第19-22页
        1.1.5 类石墨烯二维材料第22-23页
    1.2 宽禁带半导体概述第23-26页
        1.2.1 β-Ga_2O_3材料概述第23-25页
        1.2.2 二维材料/半导体异质结第25-26页
    1.3 二维材料器件物理基础第26-29页
        1.3.1 光电效应第26-27页
        1.3.2 光电探测器第27-28页
        1.3.3 太阳能电池第28-29页
第二章 实验原理与方法第29-34页
    2.1 β-Ga_2O_3的制备第29页
    2.2 石墨烯转移技术第29-31页
        2.2.1 铜基生长石墨烯原理第30页
        2.2.2 单层石墨烯转移技术第30-31页
        2.2.3 双层石墨烯转移技术第31页
    2.3 材料表征方法第31-34页
        2.3.1 光学显微镜第31页
        2.3.2 拉曼光谱第31-32页
        2.3.3 X射线衍射第32页
        2.3.4 扫描电子显微镜第32-34页
第三章 β-Ga_2O_3/4H-SiC紫外光电探测器与石墨烯电极第34-43页
    3.1 样品制备与实验方法第34-36页
        3.1.1 β-Ga_2O_3/4H-SiC制备第35页
        3.1.2 石墨烯电极器件制备第35-36页
        3.1.3 Au/Ti电极器件制备第36页
    3.2 样品形貌表征第36-38页
        3.2.1 石墨烯薄膜形貌表征第36-37页
        3.2.2 β-Ga_2O_3薄膜形貌表征第37-38页
    3.3 实验结果分析第38-42页
        3.3.1 β-Ga_2O_3/4H-SiC能带图第38页
        3.3.2 光电响应特性分析第38-42页
    3.4 本章小结第42-43页
第四章 石墨烯基光电器件扩展研究第43-55页
    4.1 单/双层石墨烯紫外光电探测器第43-46页
        4.1.1 SiO_2绝缘层制备第43-44页
        4.1.2 单/双层石墨烯器件紫外光电响应特性第44-46页
    4.2 石墨烯基太阳能电池第46-49页
        4.2.1 石墨烯/GaAs太阳能电池第47-49页
        4.2.2 石墨烯/6H-SiC太阳能电池第49页
    4.3 石墨烯/Au溶胶/GaAs光电探测器第49-50页
    4.4 类石墨烯二维材料MoS_2的制备第50-53页
        4.4.1 MoS_2常用制备方法第51页
        4.4.2 MoS_2薄膜L-MBE生长第51-52页
        4.4.3 MoS-2基光电器件制备探索第52-53页
    4.5 本章小结第53-55页
第五章 总结及展望第55-56页
参考文献第56-65页
附录第65-66页
致谢第66-67页
作者攻读学位期间发表的学术论文目录第67页

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