| 致谢 | 第5-6页 |
| 摘要 | 第6-8页 |
| Abstract | 第8-9页 |
| 1 绪论 | 第15-23页 |
| 1.1 课题研究背景和意义 | 第15页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第15-21页 |
| 1.2.1 气体润滑技术发展 | 第15-17页 |
| 1.2.2 大气环境下静压气体轴承的发展和应用 | 第17-18页 |
| 1.2.3 真空环境下静压气体轴承性能研究 | 第18-19页 |
| 1.2.4 静压气体轴承的研究方法 | 第19-21页 |
| 1.3 本文主要研究内容 | 第21-23页 |
| 2 真空环境静压气体轴承设计和分析 | 第23-35页 |
| 2.1 真空环境下静压气体轴承结构设计 | 第23-24页 |
| 2.2 真空环境下静压气体轴承的流场分析 | 第24-26页 |
| 2.3 基于FLUENT的静压气体轴承性能的影响 | 第26-30页 |
| 2.4 真空环境下静压气体轴承泄漏量分析 | 第30-32页 |
| 2.5 密封槽结构参数对密封性能的影响 | 第32-34页 |
| 2.6 本章小结 | 第34-35页 |
| 3 低真空环境下静压气体轴承的有限元法分析 | 第35-52页 |
| 3.1 静压气体润滑基本理论和轴承结构 | 第35-37页 |
| 3.2 气膜压力分布的有限元分析 | 第37-42页 |
| 3.2.1 求解区域坐标转换 | 第37-38页 |
| 3.2.2 静压气体轴承气膜压力分布方程组的建立 | 第38-40页 |
| 3.2.3 静压气体轴承气膜压力分布的求解 | 第40-41页 |
| 3.2.4 静压气体轴承静态性能参数求解 | 第41-42页 |
| 3.3 静压气体轴承结构参数对轴承性能的影响 | 第42-46页 |
| 3.3.1 节流孔直径对轴承性能的影响 | 第43-44页 |
| 3.3.2 供气压力对轴承性能的影响 | 第44-45页 |
| 3.3.3 外界环境压力对轴承性能的影响 | 第45-46页 |
| 3.4 多节流孔圆盘式静压气体轴承性能分析 | 第46-51页 |
| 3.4.1 阵列式节流孔对轴承性能的结构 | 第47-48页 |
| 3.4.2 环境压力对静压气体轴承性能的影响 | 第48-51页 |
| 3.5 本章小结 | 第51-52页 |
| 4 高真空环境下静压气体轴承润滑模型分析 | 第52-66页 |
| 4.1 静压气体轴承结构及数学模型 | 第52-59页 |
| 4.1.1 一阶润滑模型性能分析 | 第53-55页 |
| 4.1.2 1.5阶润滑模型性能分析 | 第55-56页 |
| 4.1.3 二阶润滑模型性能分析 | 第56-57页 |
| 4.1.4 各个模型的轴承性能仿真结果对比 | 第57-59页 |
| 4.2 真空环境静压气体轴承性能分析 | 第59-62页 |
| 4.2.1 真空环境静压气体轴承结构分析 | 第59-60页 |
| 4.2.2 基于修正润滑模型的静压气体轴承性能分析 | 第60-62页 |
| 4.3 结构参数对真空环境下静压气体轴承性能的影响 | 第62-65页 |
| 4.3.1 供气压力对轴承性能的影响 | 第62-63页 |
| 4.3.2 环境压力对静压气体轴承性能的影响 | 第63-65页 |
| 4.4 本章小结 | 第65-66页 |
| 5 静压气体轴承性能检测实验分析 | 第66-73页 |
| 5.1 静压气体轴承的实验平台 | 第66-68页 |
| 5.2 实验方法 | 第68-69页 |
| 5.3 实验结果和对比分析 | 第69-71页 |
| 5.4 本章小结 | 第71-73页 |
| 6 总结与展望 | 第73-75页 |
| 6.1 总结 | 第73页 |
| 6.2 展望 | 第73-75页 |
| 参考文献 | 第75-78页 |
| 作者简介 | 第78页 |