| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 引言 | 第9-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-20页 |
| 1.1 类金刚石薄膜的结构、制备方法、性能及应用 | 第10-14页 |
| 1.1.1 DLC的结构 | 第10-11页 |
| 1.1.2 DLC薄膜的制备方法与生长模式 | 第11-13页 |
| 1.1.3 类金刚石的性能与应用 | 第13-14页 |
| 1.2 DLC薄膜基体渗氮处理 | 第14-16页 |
| 1.3 类金刚石薄膜的摩擦磨损机理 | 第16-18页 |
| 1.4 论文研究内容及意义 | 第18-20页 |
| 第二章 实验方法 | 第20-28页 |
| 2.1 实验原理与实验设备 | 第20页 |
| 2.2 薄膜制备方法 | 第20-22页 |
| 2.2.1 基体材料及预处理 | 第20-21页 |
| 2.2.2 基体氮化 | 第21页 |
| 2.2.3 类金刚石薄膜沉积 | 第21-22页 |
| 2.3 结构表征手段和性能测试方法 | 第22-28页 |
| 2.3.1 台阶仪(Step profile) | 第22页 |
| 2.3.2 拉曼光谱(Raman spectra)分析法 | 第22-23页 |
| 2.3.3 纳米压痕仪(Nano-indentation) | 第23-25页 |
| 2.3.4 薄膜结合强度的表征 | 第25-26页 |
| 2.3.5 薄膜摩擦学性能的表征 | 第26页 |
| 2.3.6 扫描电子显微镜(SEM)及能谱仪(EDS) | 第26-28页 |
| 第三章 钨靶功率对掺钨DLC薄膜结构与性能的影响 | 第28-38页 |
| 3.1 薄膜的结构分析 | 第28-31页 |
| 3.1.1 薄膜的XPS分析 | 第28-29页 |
| 3.1.2 薄膜的拉曼光谱 | 第29-31页 |
| 3.2 薄膜的表面颗粒度 | 第31-32页 |
| 3.3 薄膜的沉积效率 | 第32页 |
| 3.4 薄膜的硬度 | 第32-33页 |
| 3.5 薄膜与基体的结合力 | 第33-35页 |
| 3.6 薄膜的摩擦磨损性能 | 第35-36页 |
| 3.7 本章小结 | 第36-38页 |
| 第四章 基体氮化与Cr中间层对W-DLC薄膜结构与性能的影响 | 第38-46页 |
| 4.1 XRD图谱分析 | 第38-39页 |
| 4.2 拉曼光谱分析 | 第39-40页 |
| 4.3 薄膜的沉积效率 | 第40-41页 |
| 4.4 表面粗糙度 | 第41-42页 |
| 4.5 薄膜的硬度和韧性分析 | 第42页 |
| 4.6 膜-基结合力 | 第42-45页 |
| 4.6.1 洛氏压痕测试 | 第42-43页 |
| 4.6.2 划痕测试 | 第43-45页 |
| 4.7 本章小结 | 第45-46页 |
| 第五章 摩擦条件对W-DLC薄膜摩擦磨损性能的影响 | 第46-62页 |
| 5.1 摩擦副材料的硬度对摩擦磨损的影响 | 第46-55页 |
| 5.1.1 GCr15轴承钢摩擦副 | 第46-49页 |
| 5.1.2 40Cr碳钢摩擦副材料 | 第49-52页 |
| 5.1.3 WC摩擦副 | 第52-53页 |
| 5.1.4 Al2O3摩擦副 | 第53-55页 |
| 5.2 载荷与湿度对摩擦磨损的影响 | 第55-61页 |
| 5.2.1 摩擦系数 | 第56-57页 |
| 5.2.2 磨损形貌与磨损率 | 第57-60页 |
| 5.2.3 磨屑的结构分析 | 第60-61页 |
| 5.3 本章小结 | 第61-62页 |
| 结论 | 第62-63页 |
| 参考文献 | 第63-68页 |
| 致谢 | 第68页 |
