| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-18页 |
| 1.1 课题研究背景 | 第8-9页 |
| 1.2 体声波双工器发展现状 | 第9-14页 |
| 1.3 研究思路 | 第14-16页 |
| 1.4 本文组织安排 | 第16-18页 |
| 2 设计基础 | 第18-28页 |
| 2.1 FBAR的工作原理 | 第18-20页 |
| 2.2 BAW滤波器的工作原理 | 第20-21页 |
| 2.3 BAW双工器的工作原理 | 第21-22页 |
| 2.4 BAW双工器的技术指标 | 第22-23页 |
| 2.5 FBAR电路模型 | 第23-26页 |
| 2.5.1 Mason模型 | 第23-25页 |
| 2.5.2 BVD与MBVD电路模型 | 第25-26页 |
| 2.6 辅助设计软件介绍 | 第26-27页 |
| 2.6.1 射频仿真软件ADS | 第26-27页 |
| 2.6.2 多物理场仿真软件COMSOL Multiphysics | 第27页 |
| 2.7 本章小结 | 第27-28页 |
| 3 FBAR电路模型的改进 | 第28-43页 |
| 3.1 MBVD模型的改进 | 第28-36页 |
| 3.1.1 模型改进的原理 | 第28-30页 |
| 3.1.2 性能模型参数的提取方法 | 第30-35页 |
| 3.1.3 MBVD模型参数改进流程 | 第35-36页 |
| 3.2 MASON模型的改进 | 第36-42页 |
| 3.2.1 模型改进的原理 | 第36-37页 |
| 3.2.2 FBAR FEM模型 | 第37-40页 |
| 3.2.3 改进模型的参数提取方法 | 第40-42页 |
| 3.3 本章小结 | 第42-43页 |
| 4 TX与RX滤波器的参数化设计 | 第43-66页 |
| 4.1 中心频率设计 | 第43-52页 |
| 4.1.1 初始电路模型 | 第43-44页 |
| 4.1.2 中心频率影响因素分析 | 第44-47页 |
| 4.1.3 FBAR单元各膜层厚度的确定 | 第47-52页 |
| 4.2 其它技术指标设计 | 第52-63页 |
| 4.2.1 改进后的电路模型 | 第53-54页 |
| 4.2.2 串并联FBAR谐振区面积比的影响 | 第54-55页 |
| 4.2.3 级联阶数和结构 | 第55-57页 |
| 4.2.4 总谐振区面积的影响 | 第57-58页 |
| 4.2.5 各FBAR单元谐振区面积的确定 | 第58-61页 |
| 4.2.6 带内纹波的减小方法 | 第61-63页 |
| 4.3 满足技术指标的TX与RX滤波器设计 | 第63-64页 |
| 4.4 本章小结 | 第64-66页 |
| 5 移相器设计 | 第66-76页 |
| 5.1 电路结构设计 | 第66-71页 |
| 5.1.1 Tx与Rx滤波器之间的负载效应 | 第66-69页 |
| 5.1.2 电路参数的确定 | 第69-71页 |
| 5.2 硅基平面电感设计 | 第71-73页 |
| 5.3 硅基电容设计 | 第73-75页 |
| 5.4 本章小结 | 第75-76页 |
| 6 体声波双工器的优化设计 | 第76-81页 |
| 6.1 优化设计原理 | 第76-78页 |
| 6.2 优化设计方法 | 第78-80页 |
| 6.3 本章小结 | 第80-81页 |
| 7 工艺设计 | 第81-89页 |
| 7.1 工艺流程设计 | 第81-86页 |
| 7.2 FBAR单元背腔刻蚀工艺 | 第86-88页 |
| 7.3 本章小结 | 第88-89页 |
| 结论 | 第89-92页 |
| 1. 论文的主要工作 | 第89-90页 |
| 2. 论文的创新点 | 第90-91页 |
| 3. 后续工作展望 | 第91-92页 |
| 致谢 | 第92-93页 |
| 参考文献 | 第93-97页 |
| 攻读硕士期间发表的学术论文及研究成果 | 第97页 |