| 摘要 | 第5-7页 |
| abstract | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-20页 |
| 1.1 研究背景和意义 | 第11-13页 |
| 1.2 光学硫化氢气体传感器的研究现状 | 第13-18页 |
| 1.2.1 光谱吸收型硫化氢气体传感器 | 第13-14页 |
| 1.2.2 倏逝波型硫化氢气体传感器 | 第14-16页 |
| 1.2.3 荧光型硫化氢气体传感器 | 第16-17页 |
| 1.2.4 折射率改变型硫化氢气体传感器 | 第17-18页 |
| 1.3 本文的主要工作 | 第18-19页 |
| 1.4 本章小结 | 第19-20页 |
| 第二章 硫化氢敏有机聚合物脊波导设计与分析 | 第20-38页 |
| 2.1 光波导材料 | 第20-22页 |
| 2.1.1 半导体光波导材料 | 第20-21页 |
| 2.1.2 有机聚合物光波导材料 | 第21-22页 |
| 2.2 光波导分析基础 | 第22-30页 |
| 2.2.1 平板光波导分析方法 | 第22-27页 |
| 2.2.2 脊型光波导分析方法 | 第27-30页 |
| 2.3 有机合物脊型波导的设计 | 第30-32页 |
| 2.4 有机聚合物脊型波导的仿真 | 第32-37页 |
| 2.5 本章小结 | 第37-38页 |
| 第三章 F-P腔干涉型硫化氢气体传感器研究 | 第38-49页 |
| 3.1 聚乙烯亚胺和硫化氢气体反应原理 | 第38-39页 |
| 3.2 基于光纤F-P腔的有机聚合物折射率变化实验原理及系统搭建 | 第39-44页 |
| 3.3 实验过程及结果分析 | 第44-48页 |
| 3.4 本章小结 | 第48-49页 |
| 第四章 M-Z结构有机聚合物光波导传感器设计与仿真 | 第49-57页 |
| 4.1 Y分支波导结构设计 | 第49-53页 |
| 4.2 M-Z波导结构设计和仿真 | 第53-56页 |
| 4.3 本章小结 | 第56-57页 |
| 第五章 有机聚合物光波导的制作工艺研究 | 第57-67页 |
| 5.1 有机聚合物光波导的制作流程 | 第58-66页 |
| 5.1.1 掩模板的制作 | 第59-60页 |
| 5.1.2 涂胶 | 第60-61页 |
| 5.1.3 光刻 | 第61-64页 |
| 5.1.4 反应离子刻蚀(RIE) | 第64-66页 |
| 5.2 本章小结 | 第66-67页 |
| 第六章 总结和展望 | 第67-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 参考文献 | 第70-74页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第74-75页 |