| 摘要 | 第5-8页 |
| Abstract | 第8-10页 |
| 第1章 绪论 | 第15-39页 |
| 1.1 课题来源、背景及研究意义 | 第15-18页 |
| 1.1.1 课题来源简介 | 第15页 |
| 1.1.2 课题背景及研究意义 | 第15-18页 |
| 1.2 光学制造技术发展简介 | 第18-27页 |
| 1.2.1 传统光学加工法 | 第18-19页 |
| 1.2.2 计算机表面成形技术 | 第19-22页 |
| 1.2.3 应力盘加工技术 | 第22-23页 |
| 1.2.4 气囊抛光技术 | 第23-24页 |
| 1.2.5 磁流变抛光技术 | 第24-27页 |
| 1.3 离子束修形技术研究进展 | 第27-31页 |
| 1.3.1 离子束修形技术的基本原理 | 第27-28页 |
| 1.3.2 离子束修形技术发展简介 | 第28-31页 |
| 1.4 离子束修形若干关键技术问题 | 第31-36页 |
| 1.4.1 离子束修形运动系统 | 第31-33页 |
| 1.4.2 离子束加工热效应 | 第33-35页 |
| 1.4.3 离子束修形中高频误差抑制 | 第35-36页 |
| 1.5 课题的主要研究内容 | 第36-39页 |
| 第2章 离子束修形理论及其运动系统研究 | 第39-71页 |
| 2.1 概述 | 第39页 |
| 2.2 离子束材料去除机制及修形原理 | 第39-50页 |
| 2.2.1 离子溅射效应理论模型 | 第40-42页 |
| 2.2.2 离子束修形去除函数的建立 | 第42-47页 |
| 2.2.3 驻留时间分布函数的求解 | 第47-50页 |
| 2.3 基于混联构型的离子束修形运动系统创成研究 | 第50-63页 |
| 2.3.1 离子束修形机床动态性能要求分析 | 第50-52页 |
| 2.3.2 离子束修形运动系统的结构设计 | 第52-58页 |
| 2.3.3 离子束修形运动系统控制系统结构 | 第58-63页 |
| 2.4 3-RPS并联机构的运动学分析 | 第63-69页 |
| 2.4.1 速度和加速度分析 | 第63-65页 |
| 2.4.2 极限位姿的奇异性验证 | 第65-69页 |
| 2.5 本章小结 | 第69-71页 |
| 第3章 离子束混联机床加工复杂光学曲面技术研究 | 第71-97页 |
| 3.1 概述 | 第71-72页 |
| 3.2 复杂光学曲面加工的运动学逆解算法 | 第72-80页 |
| 3.2.1 复杂光学曲面的描述 | 第72-73页 |
| 3.2.2 复杂光学曲面加工策略 | 第73-75页 |
| 3.2.3 运动学逆解算法 | 第75-80页 |
| 3.3 离子束修形驻留时间分布的实现 | 第80-83页 |
| 3.3.1 离子束修形位置加工模式 | 第80页 |
| 3.3.2 离子束修形速度加工模式 | 第80-83页 |
| 3.4 离子束修形定位误差分析与校正 | 第83-95页 |
| 3.4.1 离子束修形定位误差模型的建立 | 第84-86页 |
| 3.4.2 基于束流扫描校正静态误差 | 第86-91页 |
| 3.4.3 激光跟踪仪校正动态误差实验 | 第91-95页 |
| 3.5 本章小结 | 第95-97页 |
| 第4章 离子束修形工艺研究 | 第97-117页 |
| 4.1 概述 | 第97页 |
| 4.2 离子束修形热效应分析 | 第97-107页 |
| 4.2.1 离子束修形热源理论模型的建立 | 第97-101页 |
| 4.2.2 基于驻留时间和路径的全链路仿真 | 第101-102页 |
| 4.2.3 热源模型实验验证 | 第102-107页 |
| 4.3 离子束修形中高频误差抑制研究 | 第107-115页 |
| 4.3.1 中高频误差的产生及离子束加工分析 | 第107-110页 |
| 4.3.2 基于驻留时间求解算法的组合加工数学模型 | 第110-112页 |
| 4.3.3 组合加工抑制中高频误差的仿真验证 | 第112-115页 |
| 4.4 本章小结 | 第115-117页 |
| 第5章 复杂光学曲面离子束修形实际应用 | 第117-139页 |
| 5.1 概述 | 第117-118页 |
| 5.2 FSGJ800-IBF系统介绍 | 第118-124页 |
| 5.2.1 工件自动运输系统 | 第118-120页 |
| 5.2.2 真空系统结构设计与分析 | 第120-122页 |
| 5.2.3 电感激发射频型离子源 | 第122-124页 |
| 5.3 高陡度球面融石英反射镜离子束修形实例 | 第124-133页 |
| 5.3.1 离子源参数的确定 | 第125-126页 |
| 5.3.2 去除函数稳定性实验 | 第126-128页 |
| 5.3.3 高陡度光学元件加工实验 | 第128-133页 |
| 5.4 自由曲面碳化硅反射镜组件热抑制加工实例 | 第133-138页 |
| 5.5 本章小结 | 第138-139页 |
| 第6章 总结与展望 | 第139-143页 |
| 6.1 总结 | 第139-140页 |
| 6.2 论文创新点 | 第140页 |
| 6.3 工作展望 | 第140-143页 |
| 参考文献 | 第143-151页 |
| 在学期间学术成果情况 | 第151-153页 |
| 指导教师及作者简介 | 第153-155页 |
| 致谢 | 第155-156页 |