基于机器视觉的全自动探针台定位技术研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 1、绪论 | 第10-18页 |
| 1.1 课题背景与研究意义 | 第10-11页 |
| 1.1.1 课题背景 | 第10页 |
| 1.1.2 课题研究的目的及意义 | 第10-11页 |
| 1.2 机器视觉系统简介 | 第11-14页 |
| 1.2.1 机器视觉系统概述 | 第11-12页 |
| 1.2.2 机器视觉系统的应用 | 第12-14页 |
| 1.3 机器视觉在晶圆检测中的应用现状 | 第14-17页 |
| 1.4 本文主要研究内容 | 第17-18页 |
| 2、探针台视觉定位系统设计 | 第18-26页 |
| 2.1 引言 | 第18-19页 |
| 2.2 视觉定位系统功能分析 | 第19-22页 |
| 2.2.1 晶圆圆心的定位 | 第20-21页 |
| 2.2.2 晶圆位置自动校正 | 第21页 |
| 2.2.3 针尖与针痕的中心定位 | 第21-22页 |
| 2.3 视觉定位系统总体方案 | 第22-25页 |
| 2.3.1 视觉定位系统设计 | 第22-23页 |
| 2.3.2 视觉定位系统选型 | 第23-25页 |
| 2.4 本章小结 | 第25-26页 |
| 3、基于多尺度结构边缘提取的晶圆圆心定位 | 第26-45页 |
| 3.1 引言 | 第26页 |
| 3.2 多尺度边缘检测算法 | 第26-35页 |
| 3.2.1 边缘检测 | 第26-28页 |
| 3.2.2 常用边缘检测方法 | 第28-30页 |
| 3.2.3 多尺度结构边缘检测算法 | 第30-34页 |
| 3.2.4 对比分析 | 第34-35页 |
| 3.3 晶圆圆心定位的实现 | 第35-41页 |
| 3.3.1 晶圆圆心检测方案设计 | 第35-37页 |
| 3.3.2 晶圆圆心定位的步骤 | 第37-41页 |
| 3.4 实验分析 | 第41-44页 |
| 3.5 本章小结 | 第44-45页 |
| 4、基于特征点匹配的晶圆位置自动校正 | 第45-68页 |
| 4.1 引言 | 第45页 |
| 4.2 基于特征点的模板匹配算法 | 第45-60页 |
| 4.2.1 模板匹配 | 第45-47页 |
| 4.2.2 SIFT特征点匹配算法 | 第47-50页 |
| 4.2.3 SURF特征匹配算法 | 第50-54页 |
| 4.2.4 算法对比分析 | 第54-60页 |
| 4.3 晶圆位置自动校正方法 | 第60-63页 |
| 4.3.1 晶圆位置自动校正方案设计 | 第60-61页 |
| 4.3.2 晶圆位置自动校正的实现 | 第61-63页 |
| 4.4 实验分析 | 第63-67页 |
| 4.4.1 鲁棒性验证 | 第63-65页 |
| 4.4.2 精度验证 | 第65-67页 |
| 4.5 本章小结 | 第67-68页 |
| 5、针尖与针痕中心检测 | 第68-81页 |
| 5.1 引言 | 第68-69页 |
| 5.2 针尖与针痕中心检测的实现 | 第69-74页 |
| 5.2.1 检测方案设计 | 第69-70页 |
| 5.2.2 图像预处理 | 第70-73页 |
| 5.2.3 中心位置检测 | 第73-74页 |
| 5.3 实验分析 | 第74-80页 |
| 5.3.1 针尖检测实验 | 第74-77页 |
| 5.3.2 针痕中心检测实验 | 第77-80页 |
| 5.4 本章小结 | 第80-81页 |
| 6、总结与展望 | 第81-83页 |
| 6.1 全文总结 | 第81页 |
| 6.2 课题展望 | 第81-83页 |
| 致谢 | 第83-84页 |
| 参考文献 | 第84-87页 |
