无油真空机组的设计

摘要	第1-5页
Abstract	第5-8页
第1章 绪论	第8-15页
·课题研究的背景及意义	第8-9页
·真空获得技术的发展与研究现状分析	第9-14页
·真空技术的发展与分析	第9-10页
·洁净真空获得设备的发展与分析	第10-11页
·分子泵的发展与研究现状分析	第11-13页
·计算流体力学仿真的发展与分析	第13-14页
·本课题的主要研究内容	第14-15页
第2章 真空机组总体方案设计	第15-28页
·真空机组工作方案分析	第15-21页
·真空泵的选择与配置	第16-18页
·真空机组工作流程	第18-21页
·真空机组相关元件选择	第21-24页
·真空阀门选择	第21-22页
·真空测量仪选择	第22-24页
·真空机组的参数计算	第24-27页
·本章小结	第27-28页
第3章 分子泵的结构设计	第28-40页
·分子泵的工作原理	第28-35页
·涡轮分子泵的工作原理	第28-33页
·牵引分子泵的工作原理	第33-35页
·涡轮分子泵的结构分析与确定	第35-39页
·本章小结	第39-40页
第4章 分子泵的流场特性模拟与结构分析	第40-61页
·Fluent 与Patran 应用简介	第40-43页
·Fluent 应用简介	第40-42页
·MSC.Patran/Nastran 应用简介	第42-43页
·牵引分子泵的流场流态分析	第43-50页
·涡轮分子泵的转子结构分析	第50-57页
·涡轮叶片转子仿真可靠性的验证	第57-60页
·实验原理及设备简介	第58-59页
·实验结果及数据分析	第59-60页
·本章小结	第60-61页
结论	第61-62页
参考文献	第62-66页
致谢	第66页