| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-8页 |
| 目录 | 第8-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-28页 |
| ·课题背景 | 第10-23页 |
| ·飞秒激光简介 | 第10页 |
| ·飞秒激光微细加工技术 | 第10-14页 |
| ·飞秒激光微纳加工方法 | 第14-23页 |
| ·课题意义及国内外研究现状 | 第23-26页 |
| ·课题意义 | 第23-24页 |
| ·国内外研究现状 | 第24-26页 |
| ·本课题的研究内容 | 第26-28页 |
| ·研究内容 | 第26-27页 |
| ·内容分布 | 第27-28页 |
| 第二章 飞秒激光与物质的相互作用 | 第28-45页 |
| ·飞秒激光与物质相互作用概述 | 第28-31页 |
| ·飞秒激光与金属的作用机理 | 第28页 |
| ·飞秒激光与电介质的作用机理 | 第28-31页 |
| ·飞秒激光与物质相互作用的多尺度模型 | 第31-42页 |
| ·等离子体量子模型 | 第32-35页 |
| ·流体力学模型（Multi-fs） | 第35-42页 |
| ·本章小节 | 第42-45页 |
| 第三章 飞秒激光打孔实验研究 | 第45-59页 |
| ·飞秒激光加工实验系统 | 第45-50页 |
| ·飞秒激光器系统 | 第46-47页 |
| ·光路系统 | 第47-48页 |
| ·CCD 实时监测系统 | 第48页 |
| ·六轴精密移动控制平台 | 第48-49页 |
| ·计算机控制系统 | 第49-50页 |
| ·飞秒激光在 PMMA 上打孔 | 第50-56页 |
| ·本章小结 | 第56-59页 |
| 第四章 飞秒激光加工高深宽比硅基微槽的实验研究 | 第59-71页 |
| ·飞秒激光空间光整形在熔融石英上加工高深宽比结构 | 第59-66页 |
| ·空间光整形及其实验装置 | 第59-61页 |
| ·飞秒激光贝塞尔改性区 | 第61-63页 |
| ·经过化学刻蚀产生微槽 | 第63-66页 |
| ·飞秒激光在 SiC 上加工高深宽比微槽的实验研究 | 第66-70页 |
| ·飞秒激光高斯光束结合化学腐蚀加工微槽的研究 | 第66-68页 |
| ·飞秒激光贝塞尔光束结合化学腐蚀加工微槽的研究 | 第68-70页 |
| ·本章小结 | 第70-71页 |
| 第五章 基于流体力学的 Muti-fs 计算结果 | 第71-77页 |
| ·数值计算结果及解释 | 第72-75页 |
| ·本章小结 | 第75-77页 |
| 第六章 总结与展望 | 第77-79页 |
| 参考文献 | 第79-87页 |
| 攻读学位期间发表论文与研究成果清单 | 第87-89页 |
| 致谢 | 第89页 |