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CVD法在图形化蓝宝石衬底和硅衬底上生长SnO2微/纳米结构及其特性研究

摘要第1-5页
Abstract第5-8页
引言第8-9页
1 SnO_2的概述第9-19页
   ·SnO_2的基本性质第9-10页
   ·SnO_2的光学特性第10-11页
   ·SnO_2的气敏特性第11-12页
   ·SnO_2中存在的本征缺陷第12页
   ·SnO_2材料的应用第12-14页
   ·SnO_2微/纳米材料和器件的研究进展第14-18页
   ·本论文的主要研究内容第18-19页
2 SnO_2纳米材料的制备方法和表征手段第19-27页
   ·SnO_2纳米材料的制备方法第19-22页
     ·化学气相沉积(CVD)第19-20页
     ·磁控溅射(Magnetron sputtering)第20页
     ·脉冲激光沉积(PLD)第20-21页
     ·溶胶-凝胶(Sol-Gel)第21页
     ·分子束外延(Molecular Beam Eptaixy)第21页
     ·模板法第21-22页
   ·相关表征方法第22-27页
     ·扫描电子显微镜(SEM)第22-23页
     ·X射线衍射(XRD)第23-24页
     ·光吸收谱(Absorption spectrum)第24-25页
     ·光致发光(PL)第25-27页
3 图形化蓝宝石衬底上有序微米半球形SnO_2的生长和特性研究第27-36页
   ·实验过程第27-28页
   ·结果与讨论第28-35页
   ·结论第35-36页
4 硅衬底上SnO_2纳米线的制备及研究第36-40页
   ·SnO_2纳米线的制备第36页
   ·结构性质第36-38页
   ·光学性质第38-39页
   ·小结第39-40页
结论第40-41页
参考文献第41-43页
攻读硕士期间取得的成果第43-44页
致谢第44页

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