| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 1 绪论 | 第7-13页 |
| ·ZnO的结构与性质 | 第7-10页 |
| ·ZnO的基本结构 | 第7-9页 |
| ·ZnO的光电性质 | 第9-10页 |
| ·ZnO纳米材料的应用 | 第10-13页 |
| ·ZnO纳米气敏传感器 | 第10页 |
| ·ZnO纳米压敏器件 | 第10-11页 |
| ·纳米ZnO太阳能电池 | 第11页 |
| ·二极管 | 第11-13页 |
| 2 ZnO纳米材料的制备与表征 | 第13-21页 |
| ·ZnO纳米材料的制备 | 第13-15页 |
| ·低温水热法(Chemical Bath Deposition-CBD) | 第13页 |
| ·磁控溅射法(Magnetic Sputtering) | 第13页 |
| ·化学气相沉积法(Chemical Vapor Deposition-CVD) | 第13-14页 |
| ·金属有机物化学气相沉积法 (Metal Organic Chemical VaporDeposition-MOCVD) | 第14页 |
| ·脉冲激光沉积法(Pulsed Laser Deposition-PLD) | 第14-15页 |
| ·分子束外延法(Molecule Beam Epitaxy-MBE) | 第15页 |
| ·ZnO纳米材料的表征 | 第15-21页 |
| ·扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope-SEM) | 第15-16页 |
| ·透射电子显微镜(Transmission Electron Microscopy-TEM) | 第16-17页 |
| ·X射线衍射(X-ray Diffractio-XRD) | 第17-18页 |
| ·光致发光光谱(Photoluminescence-PL) | 第18-19页 |
| ·X射线光电子能谱 (X-ray Photoelectron Spectroscopy-XPS) | 第19-21页 |
| 3 Si衬底上ZnO纳米阵列的制备 | 第21-34页 |
| ·Si衬底上制备ZnO纳米阵列 | 第21-24页 |
| ·溶液浓度对ZnO纳米阵列的影响 | 第24-27页 |
| ·籽晶固化对ZnO纳米阵列的影响 | 第27-33页 |
| ·小结 | 第33-34页 |
| 4刻蚀技术对ZnO纳米棒的修饰 | 第34-45页 |
| ·ZnO纳米棒的生长 | 第34-36页 |
| ·ZnO纳米棒生长模拟分析 | 第36-37页 |
| ·刻蚀时间对ZnO纳米结构的影响 | 第37-42页 |
| ·ZnO纳米修饰的模拟分析 | 第42-44页 |
| ·小结 | 第44-45页 |
| 结论 | 第45-46页 |
| 参考文献 | 第46-48页 |
| 攻读硕士学位期间曾发表的学术论文 | 第48-49页 |
| 致谢 | 第49页 |
