基于全对称柱塞结构的微小气体流量标准装置的研究
| 致谢 | 第1-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 目次 | 第8-11页 |
| 图清单 | 第11-13页 |
| 表清单 | 第13-14页 |
| 1 绪论 | 第14-25页 |
| ·研究背景及意义 | 第14页 |
| ·微小气体流量标准装置分类 | 第14-19页 |
| ·微小气体流量计量研究现状 | 第19-21页 |
| ·活塞式流量标准装置研究现状 | 第21-23页 |
| ·研究目的和研究内容 | 第23-25页 |
| 2 微小气体流量标准装置方案设计及分析 | 第25-40页 |
| ·标准装置方案设计及工作原理 | 第25-29页 |
| ·标准装置技术指标 | 第25-26页 |
| ·总体设计方案 | 第26页 |
| ·标准装置工作原理 | 第26-29页 |
| ·标准装置检定模型 | 第29-30页 |
| ·标准装置特性分析 | 第30-31页 |
| ·标准装置结构设计与计算 | 第31-39页 |
| ·本章小结 | 第39-40页 |
| 3 校准模型设计 | 第40-51页 |
| ·皂膜流量计校准设计 | 第40-42页 |
| ·皂膜流量计工作原理及特点 | 第40-41页 |
| ·皂膜流量计校准模型 | 第41-42页 |
| ·质量流量计校准设计 | 第42-45页 |
| ·质量流量计工作原理及特点 | 第42-43页 |
| ·质量流量计校准模型 | 第43-45页 |
| ·浮子流量计校准设计 | 第45-48页 |
| ·浮子流量计工作原理及特点 | 第45-46页 |
| ·浮子流量计校准模型 | 第46-48页 |
| ·临界流喷嘴校准设计 | 第48-50页 |
| ·临界流喷嘴工作原理及特点 | 第48-49页 |
| ·临界流喷嘴校准模型 | 第49-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 4 微小气体流量标准装置的仿真研究 | 第51-67页 |
| ·FLUENT 简介 | 第51-52页 |
| ·仿真模型分析 | 第52-58页 |
| ·三维几何模型的构建 | 第52-53页 |
| ·计算初始条件的设置 | 第53-58页 |
| ·装置动态校准的仿真研究 | 第58-66页 |
| ·加速度对比仿真实验 | 第58-60页 |
| ·温度压力分布研究 | 第60-61页 |
| ·临界流喷嘴研究 | 第61-66页 |
| ·本章小结 | 第66-67页 |
| 5 微小气体流量标准装置控制系统设计 | 第67-78页 |
| ·控制系统总体设计 | 第67页 |
| ·下位机控制系统设计 | 第67-72页 |
| ·下位机总体设计 | 第67-68页 |
| ·下位机程序设计 | 第68-72页 |
| ·上位机检定系统设计 | 第72-77页 |
| ·相关参数设置 | 第72-73页 |
| ·装置气密性试验设计 | 第73-74页 |
| ·装置检定系统设计 | 第74-76页 |
| ·数据管理系统设计 | 第76-77页 |
| ·本章小结 | 第77-78页 |
| 6 实验研究 | 第78-90页 |
| ·装置气密性实验 | 第78-80页 |
| ·比对实验 | 第80-81页 |
| ·装置不确定度分析及校准实验 | 第81-88页 |
| ·装置不确定度分析 | 第81-84页 |
| ·皂膜流量计检定及不确定度分析 | 第84-85页 |
| ·质量流量计检定及不确定度分析 | 第85-87页 |
| ·浮子流量计检定及不确定度分析 | 第87-88页 |
| ·本章小结 | 第88-90页 |
| 7 总结与展望 | 第90-92页 |
| ·工作总结 | 第90页 |
| ·论文创新点 | 第90-91页 |
| ·研究展望 | 第91-92页 |
| 参考文献 | 第92-96页 |
| 作者简介 | 第96页 |
