纳米级分辨力重载电控二维倾斜调整架设计
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-13页 |
| ·研究目的及意义 | 第7-8页 |
| ·国内外的发展现状 | 第8-10页 |
| ·精密工作台的关键技术 | 第10-11页 |
| ·研究内容 | 第11-13页 |
| 第二章 调整架的总体设计 | 第13-30页 |
| ·设计要求及指标 | 第14页 |
| ·机械系统设计方案 | 第14-16页 |
| ·控制系统设计方案 | 第16-21页 |
| ·器件选型及设计参数计算 | 第21-30页 |
| 第三章 CATIA三维建模 | 第30-37页 |
| ·调整驱动组件 | 第30-31页 |
| ·调整板组件 | 第31-32页 |
| ·下底板 | 第32-33页 |
| ·保护机构 | 第33-36页 |
| ·总体结构模型 | 第36-37页 |
| 第四章 静力学分析 | 第37-44页 |
| ·有限元法概述 | 第37-38页 |
| ·静力学分析理论基础 | 第38-41页 |
| ·调整架关键部件的静力学分析 | 第41-44页 |
| 第五章 调整架模态分析 | 第44-56页 |
| ·模态分析理论基础 | 第44-45页 |
| ·调整架结构的模态分析 | 第45-56页 |
| 第六章 测试实验及结论 | 第56-60页 |
| ·检测设备和方法 | 第56-57页 |
| ·测试结果及分析 | 第57-60页 |
| 第七章 总结与展望 | 第60-61页 |
| 致谢 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-63页 |
