| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-14页 |
| 注释表 | 第14-16页 |
| 第一章 绪论 | 第16-23页 |
| ·引言 | 第16-17页 |
| ·微电子发展状态与趋势 | 第16-17页 |
| ·高 K 材料的发展概况 | 第17-19页 |
| ·晶体场效应管简介 | 第17-18页 |
| ·高 K 材料 | 第18-19页 |
| ·薄膜制备技术 | 第19-20页 |
| ·化学气相沉积 | 第20页 |
| ·原子层沉积 | 第20页 |
| ·稀土氧化物的 ALD 前驱体的研究进展 | 第20-21页 |
| ·本文研究的内容 | 第21-23页 |
| 第二章 酰胺基稀土配合物的合成与表征以及制备高K薄膜材料的研究 | 第23-56页 |
| ·引言 | 第23-24页 |
| ·实验部分 | 第24-33页 |
| ·实验试剂 | 第24-25页 |
| ·实验仪器 | 第25-26页 |
| ·溶剂和试剂的处理 | 第26页 |
| ·分析和测试 | 第26-27页 |
| ·稀土元素的含量分析 | 第26页 |
| ·C、H 和 N 的含量分析 | 第26页 |
| ·熔点测定 | 第26页 |
| ·~1H NMR 和~(13)C{H} NMR 谱分析 | 第26-27页 |
| ·晶体结构测定 | 第27页 |
| ·原料的合成 | 第27-28页 |
| ·无水三氯化镧/三氯化钆的制备 | 第27页 |
| ·Li[N(SiMe_3)_2]的制备 | 第27页 |
| ·La[N(SiMe_3)_2]_3的合成 | 第27页 |
| ·Gd[N(SiMe_3)_2]_3的合成 | 第27-28页 |
| ·酰胺以及酰胺锂盐的合成 | 第28-31页 |
| ·(CH_3)_2CHCOCl 的合成 | 第28页 |
| ·(CH_3)_3COCl 的合成 | 第28页 |
| ·~tBu(HNCO)Ph (1a)的合成 | 第28-29页 |
| ·~iBu(HNCO)Ph (1b)的合成 | 第29页 |
| ·Cy(HNCO)~iPr (1c)的合成 | 第29-30页 |
| ·~tBu(HNCO)~tBu (1d)的合成 | 第30页 |
| ·Li[~iBu(NCO)Ph] (1b’)的合成 | 第30-31页 |
| ·含酰胺基的稀土金属配合物的合成 | 第31-33页 |
| ·LaLi[N(SiMe_3)_2]_3[~iBu(NCO)Ph]·3THF (2a)的合成 | 第31页 |
| ·La_2[Cy(NCO)~iPr]_6[Cy(HNCO)~iPr] (2b)的合成 | 第31页 |
| ·Gd_2[Cy(NCO)~iPr]_6(2c)的合成 | 第31-32页 |
| ·Gd_3O[N(SiMe_3)_2]_3[~tBu(NCO)Ph]_4(2d)的合成 | 第32页 |
| ·Gd_2[~tBu(NCO)Ph]_6[~tBu(HNCO)Ph] (2e)的合成 | 第32页 |
| ·Gd[~tBu(NCO)~tBu]_3·2THF (2f)的合成 | 第32页 |
| ·La[~tBu(NCO)~tBu]_3·2THF (2g)的合成 | 第32-33页 |
| ·MOCVD 薄膜生长实验 | 第33页 |
| ·结果与讨论 | 第33-56页 |
| ·实验方案的选择 | 第33-36页 |
| ·测试结果分析 | 第36-56页 |
| ·稀土元素的含量分析 | 第36-37页 |
| ·X-射线单晶衍射 | 第37-53页 |
| ·热重分析(TG) | 第53-54页 |
| ·MOCVD 薄膜测试分析 | 第54-56页 |
| 第三章 混配型稀土金属配合物的合成与表征及催化Ε-己内酯开环聚合的研究 | 第56-89页 |
| ·引言 | 第56-57页 |
| ·实验部分 | 第57-63页 |
| ·实验试剂 | 第57-58页 |
| ·配体及反应前体的合成 | 第58-59页 |
| ·酰胺配体的合成 | 第58页 |
| ·反应前体的合成 | 第58-59页 |
| ·配合物的合成 | 第59-62页 |
| ·配合物 La[N(SiMet_3)_2]_2[~tBu(NCO)Ph] (1)的合成 | 第59页 |
| ·配合物 La[N(SiMei_3)_2]_2[~iPr(NCO)Ph] (2)的合成 | 第59-60页 |
| ·配合物 La[N(SiMe_3)_2]_2[~iPr(NCO)~iPr] (3)的合成 | 第60页 |
| ·配合物 La[N(SiMe_3)_2]_2[~tBu(NCO)~iPr]·THF (4)的合成 | 第60页 |
| ·配合物 La[N(SiMet_3)_2][~tBu(NCO)~tBu]_2(5)的合成 | 第60-61页 |
| ·配合物 La[N(SiMei_3)_2][~iPr(NCO)~tBu]_2(6)的合成 | 第61页 |
| ·配合物 La[N(SiMe_3)_2][~iPr(NCO)~iPr]_2(7)的合成 | 第61页 |
| ·配合物 Lat_2[N(SiMe_3)_2]_2[~tBu(NCO)~iPr]_3[O(SiMe_3)] (8)的合成 | 第61-62页 |
| ·配合物 Gd[N(SiMei_3)_2][~iPr(NCO)~iPr]_2(9)的合成 | 第62页 |
| ·配合物 Gd[N(SiMe_3)_2][~iPr(NCO)Ph]_2(10)的合成 | 第62页 |
| ·聚ε-己内酯的合成 | 第62-63页 |
| ·结果与讨论 | 第63-89页 |
| ·合成方法 | 第63页 |
| ·配合物的合成 | 第63页 |
| ·稀土金属有机配合物的表征 | 第63-89页 |
| ·配合物的元素含量分析 | 第63-64页 |
| ·核磁共振 | 第64-71页 |
| ·热重分析 | 第71页 |
| ·X-射线单晶衍射 | 第71-86页 |
| ·聚ε-己内酯的合成 | 第86-89页 |
| 第四章 总结与展望 | 第89-91页 |
| ·总结 | 第89-90页 |
| ·展望 | 第90-91页 |
| 参考文献 | 第91-98页 |
| 致谢 | 第98-99页 |
| 在学期间的研究成果及发表的学术论文 | 第99页 |
