面向光栅制造的宏微超精密进给系统的设计与研究

摘要	第1-7页
ABSTRACT	第7-12页
表格	第12-13页
插图	第13-18页
第1章 绪论	第18-38页
·引言	第18页
·研究背景	第18-22页
·光栅刻划机国内外发展概况	第22-24页
·宏微进给系统国内外研究现状	第24-33页
·大行程驱动实现方式	第25-26页
·高精度驱动实现方式	第26-28页
·二级驱动实现方式	第28-33页
·柔性定位平台研究现状	第33-34页
·本文主要研究内容	第34-35页
·本章小结	第35-38页
第2章 宏微超精密进给系统设计	第38-62页
·引言	第38页
·光栅刻划机进给系统驱动策略	第38-42页
·刻划机工作方式	第38-41页
·超精密进给系统的确定	第41-42页
·宏微驱动系统介绍	第42-52页
·驱动系统	第42-46页
·测量反馈系统	第46-48页
·计算机控制系统	第48-52页
·宏微进给机构特性分析	第52-61页
·丝杠螺母传动系统特性分析	第52-59页
·压电驱动结构特性分析	第59-61页
·本章小结	第61-62页
第3章 宏微超精密进给机构系统建模及其特性研究	第62-90页
·引言	第62页
·宏驱动系统建模	第62-68页
·模型建立	第62-64页
·动力学建模	第64-66页
·状态方程建立	第66-68页
·微致动系统建模	第68-72页
·模型建立	第69页
·动力学建模	第69-71页
·状态方程建立	第71-72页
·进给工作台爬行特性分析	第72-80页
·光栅性能与分度系统映射关系	第73-75页
·工作台爬行理论模型建立	第75-78页
·工作台爬行运动仿真	第78-80页
·分度进给机构实验特性分析	第80-88页
·系统传动链刚度实验	第80-81页
·系统阻尼实验	第81-82页
·宏微进给系统定位特性实验研究	第82-85页
·刻划机刻线间距试验	第85-88页
·本章小结	第88-90页
第4章 超精密微致动系统力学特性研究	第90-108页
·引言	第90页
·柔性铰链类型与分析	第90-92页
·柔性铰链力学建模	第92-95页
·微致动平台刚度的理论建模	第92-95页
·微致动平台刚度有限元验证分析	第95页
·微致动平台刚度特性研究	第95-99页
·微致动平台刚度的参数特性	第95-97页
·微致动平台刚度的载荷特性	第97-99页
·微致动平台频率特性分析	第99-103页
·厚度参数对系统固有频率的影响	第101-102页
·长度参数对系统固有频率的影响	第102-103页
·材料属性对系统固有频率的影响	第103页
·基于SQP法的微致动平台优化设计	第103-106页
·SQP算法的理论基础	第104页
·微致动平台结构优化设计	第104-106页
·本章小结	第106-108页
第5章 宏微超精密进给系统辨识及其控制策略研究	第108-138页
·引言	第108页
·基于子空间法的微致动系统辨识	第108-126页
·子空间辨识理论	第110-118页
·子空间辨识结果	第118-126页
·进给系统控制策略研究	第126-136页
·传统PID控制	第128-129页
·单神经元PID控制	第129-131页
·基于BP网络的自适应PID控制	第131-134页
·光栅刻线精度分析	第134-136页
·本章小结	第136-138页
第6章 总结和展望	第138-142页
·论文总结	第138-139页
·文章中的主要创新点	第139页
·后续工作展望	第139-142页
参考文献	第142-150页
在读期间发表的学术论文与取得的研究成果	第150-152页
致谢	第152页