| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 1 绪论 | 第8-16页 |
| ·前言 | 第8页 |
| ·LIFT 工艺的基本原理与特点 | 第8-11页 |
| ·LIFT 工艺的研究现状 | 第11-13页 |
| ·本文所从事课题的来源?目标?方法?内容?创新点 | 第13-15页 |
| ·本章小结 | 第15-16页 |
| 2 玻璃基板表面预置金属膜的实验工艺研究 | 第16-24页 |
| ·前言 | 第16页 |
| ·转移金属物质的选择 | 第16-17页 |
| ·利用银镜反应制备金属银膜 | 第17-20页 |
| ·利用导电银浆料旋涂烧结来制备金属银膜 | 第20-23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 3 激光诱导向前转移实验平台的建立 | 第24-29页 |
| ·前言 | 第24页 |
| ·激光微加工平台简介 | 第24-27页 |
| ·金属膜层转移实验中样品的控制 | 第27-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 4 薄膜的激光诱导向前转移实验研究 | 第29-44页 |
| ·前言 | 第29-30页 |
| ·使用355nm 紫外激光器进行薄膜向前转移实验研究 | 第30-42页 |
| ·使用1064nmNd:YAG 激光器进行薄膜向前转移实验研究 | 第42-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 5 厚膜的激光诱导向前转移实验研究 | 第44-52页 |
| ·前言 | 第44页 |
| ·使用355nm 紫外激光器进行厚膜向前转移实验研究 | 第44-47页 |
| ·使用1064nmNd:YAG 激光器进行厚膜向前转移实验研究 | 第47页 |
| ·转移沉积金属导线质量的测量与评估 | 第47-50页 |
| ·利用激光诱导向前转移工艺制作空芯平面矩形微电感 | 第50-51页 |
| ·本章小结 | 第51-52页 |
| 6 结论与建议 | 第52-54页 |
| ·主要结论 | 第52页 |
| ·今后工作的建议 | 第52-54页 |
| 致谢 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-58页 |
