高功率激光装置光学元件PSD1检测方法的研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 目录 | 第5-7页 |
| 1 绪论 | 第7-15页 |
| ·课题研究背景 | 第7-10页 |
| ·波前畸变的划分 | 第10-11页 |
| ·国内外光学元件中频误差检测的发展状况 | 第11-14页 |
| ·本论文主要研究工作 | 第14-15页 |
| 2 波前功率谱密度PSD检测技术 | 第15-26页 |
| ·PSD的定义 | 第15-16页 |
| ·PSD加窗计算修正 | 第16-18页 |
| ·空域加窗对PSD计算的影响 | 第16-17页 |
| ·单频波前加窗PSD修正因子推导 | 第17-18页 |
| ·具有不同频率的波前PSD修正因子推导 | 第18页 |
| ·一维PSD计算方法的研究 | 第18-21页 |
| ·计算原理及算法分析 | 第18-20页 |
| ·四种算法的优缺点分析 | 第20-21页 |
| ·模拟面形高度图和径向平均方位角PSD算法 | 第21-24页 |
| ·从PSD函数得到面形高度图 | 第21-23页 |
| ·圆形孔径的径向平均方位角算法 | 第23-24页 |
| ·中频波前均方根的定义及空域处理方法 | 第24-25页 |
| ·中频波前均方根的定义 | 第24页 |
| ·空域处理方法 | 第24-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 3 干涉仪系统传递函数 | 第26-36页 |
| ·系统传递函数的测试原理 | 第26-29页 |
| ·系统传递函数的定义 | 第26-27页 |
| ·干涉仪系统传递函数的测试方法 | 第27-29页 |
| ·标定干涉仪系统传递函数 | 第29-32页 |
| ·标定干涉仪系统传递函数的实验步骤 | 第29-30页 |
| ·计算干涉仪系统传递函数的程序算法及结果 | 第30-32页 |
| ·影响干涉仪系统传递函数标定结果的因素 | 第32-35页 |
| ·台阶高的标定误差对检测结果的影响 | 第32-33页 |
| ·台阶面的倾斜对传函检测结果的影响 | 第33-34页 |
| ·干涉腔距离对传函检测结果的影响 | 第34-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 4 PSD检测技术主要实验及结果分析 | 第36-56页 |
| ·高功率激光装置中的光学元件 | 第36页 |
| ·光学元件分类 | 第36页 |
| ·实验仪器及平台器件 | 第36-39页 |
| ·菲索型干涉仪 | 第36-37页 |
| ·测试软件系统 | 第37-39页 |
| ·实验研究结果 | 第39-51页 |
| ·一维PSD不同算法实验分析 | 第39-41页 |
| ·径向平均方位角实验分析 | 第41-42页 |
| ·空域处理Quad_Flip技术的应用 | 第42-44页 |
| ·PSD检测结果分析 | 第44-51页 |
| ·光学元件PSD指标检测方案设计 | 第51-54页 |
| ·光学元件PSD检测方案 | 第51-54页 |
| ·不合格元件处理方案 | 第54页 |
| ·本章小结 | 第54-56页 |
| 5 总结和展望 | 第56-58页 |
| 致谢 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-61页 |
