纳米多孔硅光波导器件的制备及其特性研究

摘要	第1-7页
ABSTRACT	第7-11页
第一章 绪论	第11-28页
·引言	第11页
·多孔硅的形成机理	第11-15页
·多孔硅的制备方法	第15-20页
·多孔硅的应用	第20-23页
·光学器件	第23-26页
·波导光栅耦合器	第26-27页
·本论文研究目的及主要内容	第27-28页
第二章 纳米多孔硅的制备	第28-33页
·引言	第28页
·电化学腐蚀法及原理	第28-29页
·实验装置	第29页
·实验步骤	第29-31页
·分析方法	第31-32页
·本章小结	第32-33页
第三章 纳米多孔硅折射率的研究	第33-44页
·引言	第33页
·理论部分	第33-37页
·结果与讨论	第37-42页
·本章小结	第42-44页
第四章 波导光栅耦合器的基本理论	第44-48页
·引言	第44页
·波导光栅耦合器的结构	第44-45页
·布拉格条件	第45-46页
·严格耦合波分析法(RCWA)	第46-47页
·本章小结	第47-48页
第五章 纳米多孔硅光波导器件	第48-58页
·引言	第48页
·纳米多孔硅Bragg反射镜的制备	第48-49页
·纳米多孔硅波导光栅耦合器	第49-57页
·本章小结	第57-58页
第六章 结论与展望	第58-60页
·结论	第58页
·展望	第58-60页
参考文献	第60-67页
致谢	第67-68页
在读期间发表、投稿的论文	第68页