99%氧化铝陶瓷基片平整化改性研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-22页 |
| ·研究背景 | 第10-11页 |
| ·基片的主要性能参数 | 第11-13页 |
| ·基片的几何特征尺寸 | 第11-12页 |
| ·基片的电气性能 | 第12-13页 |
| ·基片的热学性能 | 第13页 |
| ·基片的其他性能 | 第13页 |
| ·常用基片的种类 | 第13-17页 |
| ·基片表面平整化工艺现状 | 第17-19页 |
| ·机械抛光 | 第17-18页 |
| ·溶胶凝胶法 | 第18-19页 |
| ·丝网印刷法 | 第19页 |
| ·薄膜器件基片的研究现状 | 第19-20页 |
| ·本论文的研究内容 | 第20-22页 |
| 第二章 实验研究方法 | 第22-29页 |
| ·实验所用材料和设备 | 第22-23页 |
| ·试剂及原料 | 第22-23页 |
| ·实验仪器及设备 | 第23页 |
| ·改性基片的制备工艺 | 第23-24页 |
| ·高温玻璃釉的制备 | 第23-24页 |
| ·玻璃釉浆料的制备 | 第24页 |
| ·改性玻璃釉涂层的制备 | 第24页 |
| ·实验分析方法 | 第24-29页 |
| ·热分析(TG-DSC) | 第24-25页 |
| ·玻璃釉高温粘度分析方法 | 第25页 |
| ·XRD分析 | 第25-26页 |
| ·SEM分析 | 第26-27页 |
| ·AFM分析 | 第27-29页 |
| 第三章 高温玻璃釉的制备研究 | 第29-51页 |
| ·玻璃成分设计的理论计算基础 | 第30-33页 |
| ·玻璃釉熔融温度的计算 | 第30-32页 |
| ·玻璃釉热膨胀系数的计算 | 第32页 |
| ·玻璃热导率的计算 | 第32-33页 |
| ·玻璃釉成分设计 | 第33-44页 |
| ·玻璃釉主要成分及其作用 | 第33-35页 |
| ·玻璃釉成分设计原则 | 第35-36页 |
| ·高温玻璃釉配方设计 | 第36-39页 |
| ·玻璃组成对釉热膨胀系数的影响 | 第39-42页 |
| ·玻璃釉组成对釉热导率的影响 | 第42-44页 |
| ·玻璃釉最佳组分设计 | 第44页 |
| ·高温玻璃釉的制备研究 | 第44-49页 |
| ·玻璃釉生料的热分析 | 第45-46页 |
| ·玻璃釉的制备 | 第46-47页 |
| ·玻璃釉的高温粘度的研究 | 第47-48页 |
| ·不同冷却方式对玻璃釉结晶性能的影响 | 第48-49页 |
| ·本章小结 | 第49-51页 |
| 第四章 99%氧化铝陶瓷基片改性研究 | 第51-65页 |
| ·丝网印刷玻璃釉料的制备 | 第51-53页 |
| ·玻璃釉浆料的制备 | 第52页 |
| ·增稠剂加入量对玻璃釉浆料性能的影响 | 第52-53页 |
| ·丝网印刷法制备改性涂层 | 第53-56页 |
| ·丝网印刷原理 | 第53-54页 |
| ·丝网印刷工艺过程 | 第54-56页 |
| ·丝网印刷工艺改进措施 | 第56页 |
| ·烧结模式对基片改性效果的影响 | 第56-61页 |
| ·改性基片玻璃釉浆料的热分析 | 第57-58页 |
| ·改性基片的烧结模式研究 | 第58-61页 |
| ·改性基片的主要缺陷及改善措施 | 第61-62页 |
| ·改性釉层中针孔、气泡的产生及应对措施 | 第61-62页 |
| ·改性釉层中杂质的产生及应对措施 | 第62页 |
| ·优化工艺下的基片改性结果 | 第62-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 第五章 结论 | 第65-66页 |
| 致谢 | 第66-67页 |
| 参考文献 | 第67-71页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第71页 |
