| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第一章 绪论 | 第10-16页 |
| ·选题依据和背景 | 第10-12页 |
| ·太阳能电池及其设备的介绍 | 第10-11页 |
| ·PECVD 设备 | 第11-12页 |
| ·企业发展的需要 | 第12页 |
| ·国内外研究现状 | 第12-13页 |
| ·本课题的主要研究内容 | 第13-15页 |
| ·解决的实际问题 | 第14页 |
| ·优化控制软件 | 第14页 |
| ·对自动化控制软件的研究与应用 | 第14-15页 |
| ·本文组织 | 第15-16页 |
| 第二章 主要技术介绍 | 第16-29页 |
| ·嵌入式系统介绍 | 第16-17页 |
| ·嵌入式系统的概念 | 第16页 |
| ·传统通用计算机与嵌入式系统对比 | 第16-17页 |
| ·嵌入式系统的构成 | 第17页 |
| ·针对基于 VXWORKS平台开发的自动化控制软件的研究 | 第17-19页 |
| ·组成与原理 | 第17-18页 |
| ·自动化控制软件的特点 | 第18-19页 |
| ·VXWORKS 操作系统及 TORNADO 开发工具 | 第19-28页 |
| ·Vxworks 操作系统 | 第19-21页 |
| ·Tornado 开发工具 | 第21-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 需求分析 | 第29-34页 |
| ·PECVD 设备需求说明 | 第29页 |
| ·PECVD 设备系统的硬件需求 | 第29-30页 |
| ·PECVD 设备系统的功能需求 | 第30-32页 |
| ·PECVD 设备系统性能分析 | 第32页 |
| ·PECVD 设备系统的可行性分析 | 第32-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第四章 PECVD 设备系统的硬件设计与实现 | 第34-44页 |
| ·控制系统的硬件框图 | 第34页 |
| ·控制系统的各个硬件 | 第34-41页 |
| ·MPC8540 核心控制电路板 | 第35-37页 |
| ·基板加热系统 | 第37-39页 |
| ·基板升降机控制系统（电机驱动板） | 第39-41页 |
| ·初始化程序 | 第41-43页 |
| ·系统时钟初始化 | 第41页 |
| ·系统接口单元 SIU 初始化 | 第41-43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第五章 PECVD 设备系统的软件设计与实现 | 第44-60页 |
| ·VXWORKS 驱动设计 | 第44-47页 |
| ·VXWORKS 驱动程序设计 | 第44-45页 |
| ·串口设备驱动程序编写 | 第45-47页 |
| ·软件架构设计 | 第47-48页 |
| ·软件总体结构 | 第47-48页 |
| ·应用层软件功能设计 | 第48页 |
| ·PECVD 各个功能模块系统的软件设计 | 第48-59页 |
| ·伺服电机控制模块 | 第48-51页 |
| ·与 PC 机间的串口通信模块程序设计 | 第51-54页 |
| ·流量传感器模块的程序设计 | 第54-55页 |
| ·人机界面程序设计 | 第55-57页 |
| ·控制系统的应用主程序设计 | 第57-59页 |
| ·本章小结 | 第59-60页 |
| 第六章 系统控制软件的调试与运行 | 第60-69页 |
| ·VXWORKS 嵌入式系统的调试过程 | 第60-61页 |
| ·VXWORKS 嵌入式系统的调试方法 | 第61-64页 |
| ·源程序模拟器方式 | 第61-64页 |
| ·监控器方式 | 第64页 |
| ·仿真器方式开发 | 第64页 |
| ·VXWORKS 嵌入式系统的仿真器 VXSIM | 第64-65页 |
| ·系统在真实环境下运行 | 第65-67页 |
| ·PEVCD 底层硬件初始化调试 | 第67-68页 |
| ·本章小结 | 第68-69页 |
| 第七章 结论和展望 | 第69-71页 |
| ·本论文的结论与总结 | 第69页 |
| ·前景展望 | 第69-71页 |
| 致谢 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-74页 |
| 作者攻硕期间取得的成果 | 第74-75页 |