典型引信MEMS微弹簧可靠性研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第1章 绪论 | 第8-19页 |
| ·MEMS 概述 | 第8-11页 |
| ·微机电系统的特点 | 第8-9页 |
| ·MEMS 器件分类 | 第9-11页 |
| ·MEMS 器件典型失效模式及失效机理 | 第11-17页 |
| ·失效研究 | 第11页 |
| ·MEMS 失效分析方法 | 第11-12页 |
| ·MEMS 器件典型失效模式与失效机理 | 第12-17页 |
| ·论文研究内容与结构 | 第17-19页 |
| ·论文研究内容 | 第17-18页 |
| ·论文结构 | 第18-19页 |
| 第2章 基于动态特性引信微弹簧仿真 | 第19-34页 |
| ·引言 | 第19-20页 |
| ·引信 MEMS 安全系统的构成及其工作原理 | 第20-21页 |
| ·微弹簧性能分析 | 第21页 |
| ·有限元分析方法 | 第21-26页 |
| ·微弹簧应力载荷条件下的有限元仿真研究 | 第26-33页 |
| ·微弹簧结构与参数 | 第26-27页 |
| ·微弹簧压缩试验 | 第27-30页 |
| ·微弹簧拉伸试验 | 第30-33页 |
| ·本章小结 | 第33-34页 |
| 第3章 引信微弹簧高动态下失效有限元仿真 | 第34-62页 |
| ·引言 | 第34页 |
| ·强度理论 | 第34-38页 |
| ·Griffith 断裂理论及理论修正 | 第38-44页 |
| ·应力强度因子和能量释放率 | 第42-44页 |
| ·微弹簧失效仿真 | 第44-61页 |
| ·加速应力试验方法 | 第44-45页 |
| ·微弹簧失效仿真分析 | 第45-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 第4章 微弹簧可靠性实验研究 | 第62-73页 |
| ·引言 | 第62页 |
| ·引信 MEMS 微弹簧冲击过载实验 | 第62-70页 |
| ·目的与意义 | 第62页 |
| ·MEMS 材料与微加工工艺 | 第62-68页 |
| ·试验方法及过程 | 第68页 |
| ·实验结果 | 第68-70页 |
| ·微弹簧拉伸实验研究 | 第70-72页 |
| ·试验方法及过程 | 第70-71页 |
| ·实验结果 | 第71-72页 |
| ·本章小结 | 第72-73页 |
| 第5章 总结与展望 | 第73-75页 |
| ·研究工作总结 | 第73页 |
| ·后续工作展望 | 第73-75页 |
| 参考文献 | 第75-79页 |
| 致谢 | 第79-80页 |
| 攻读学位期间发表论文与研究成果清单 | 第80页 |
