| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-8页 |
| 1 绪论 | 第8-13页 |
| ·声光器件的发展现状 | 第8-9页 |
| ·声表面波声光移频器的国内外研究现状 | 第9-12页 |
| ·论文研究目的和主要研究内容 | 第12页 |
| ·本章小结 | 第12-13页 |
| 2 基于弯曲板波的拉曼型声光移频器的理论研究 | 第13-30页 |
| ·声光互作用 | 第13-15页 |
| ·布拉格型声光衍射 | 第13-14页 |
| ·拉曼–奈斯型声光衍射 | 第14-15页 |
| ·基于弯曲板波的拉曼型声光移频器 | 第15-20页 |
| ·基本结构 | 第15-16页 |
| ·工作原理 | 第16-17页 |
| ·原理验证实验 | 第17-20页 |
| ·弯曲板波在 ZnO 薄膜中的频散特性 | 第20-24页 |
| ·板波 | 第20-21页 |
| ·弯曲板波在 ZnO 薄膜中的频散特性曲线计算 | 第21-24页 |
| ·多层板理论模型 | 第24-29页 |
| ·单层板模型的分析 | 第24-26页 |
| ·多层板模型的分析 | 第26-29页 |
| ·本章小结 | 第29-30页 |
| 3 基于弯曲板波的拉曼型声光移频器的结构设计与仿真 | 第30-51页 |
| ·叉指换能器的设计 | 第30-37页 |
| ·基本结构及原理 | 第30-33页 |
| ·叉指对数的设计 | 第33-36页 |
| ·叉指周期与声孔径的设计 | 第36-37页 |
| ·光波导的设计 | 第37-42页 |
| ·光波导类型的选择 | 第37-39页 |
| ·光波导材料的选择 | 第39页 |
| ·单模矩形光波导的设计 | 第39-42页 |
| ·移频器的有限元仿真 | 第42-50页 |
| ·有限元模型的建立 | 第42-47页 |
| ·谐响应分析 | 第47-48页 |
| ·瞬态动力学分析 | 第48-50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 4 基于弯曲板波的拉曼型声光移频器的加工技术 | 第51-62页 |
| ·工艺流程设计 | 第51-53页 |
| ·版图设计 | 第53-56页 |
| ·移频器的关键加工技术 | 第56-60页 |
| ·光波导的制备 | 第56-57页 |
| ·ZnO 压电薄膜的制备 | 第57-59页 |
| ·电极的制备 | 第59-60页 |
| ·样机性能测试 | 第60-61页 |
| ·本章小结 | 第61-62页 |
| 5 总结与展望 | 第62-64页 |
| ·总结 | 第62页 |
| ·存在的问题及工作展望 | 第62-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 附录 作者在攻读学位期间发表的论文目录 | 第69页 |