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4H-SiC MESFET的结构优化和理论建模研究

作者简介第1-6页
摘要第6-8页
ABSTRACT第8-12页
第一章 绪论第12-22页
   ·研究背景及意义第12-16页
     ·研究背景第12-14页
     ·4H-SiC MESFET 的研究意义第14-16页
   ·4H-SiC MESFET 的研究现状及存在的问题第16-19页
     ·4H-SiC MESFET 的研究现状第16-19页
     ·需要解决的问题第19页
   ·本文研究内容及章节安排第19-22页
第二章 4H-SiC MESFET 的理论分析第22-42页
   ·4H-SiC 材料的性质第22-26页
   ·4H-SiC MESFET 的直流特性理论研究第26-31页
     ·半导体器件工作的的微观模型第26-27页
     ·MESFET 的工作机理第27-28页
     ·4H-SiC MESFET 电流模型与分析第28-31页
   ·4H-SiC MESFET 的交流特性理论研究第31-40页
     ·漏极电导和跨导第32-34页
     ·栅-源电容第34-35页
     ·截止频率和最高振荡频率第35-40页
   ·本章小结第40-42页
第三章 缓冲栅结构 4H-SiC MESFET 的理论分析第42-60页
   ·4H-SiC MESFET 的结构优化第42-44页
   ·缓冲栅 4H-SiC MESFET 的结构第44-45页
   ·直流电流模型第45-49页
   ·交流小信号参数模型第49-53页
   ·结果与讨论第53-59页
   ·本章小结第59-60页
第四章 双材料栅结构 4H-SiC MESFET 亚阈值特性理论分析第60-84页
   ·H-SiC MESFET 的亚阈值特性和 DIBL 效应第60-70页
     ·4H-SiC MESFET 的亚阈值状态第60-63页
     ·DIBL 效应第63页
     ·4H-SiC MESFET 的亚阈值特性理论分析第63-70页
   ·双材料栅 4H-SiC MESFET 新结构第70-71页
   ·双材料栅结构 4H-SiC MESFET 的亚阈值特性理论分析第71-75页
     ·沟道势分布函数第71-73页
     ·阈值电压第73-74页
     ·亚阈值倾斜因子第74-75页
   ·结果与讨论第75-81页
   ·本章小结第81-84页
第五章 双沟结构 4H-SiC MESFET 亚阈值特性理论分析第84-96页
   ·双沟 4H-SiC MESFET 的器件结构第84-85页
   ·亚阈值沟道势分布函数第85-87页
   ·阈值电压第87-88页
   ·亚阈值倾斜因子第88-89页
   ·结果与讨论第89-94页
   ·本章小结第94-96页
第六章 总结与展望第96-100页
致谢第100-102页
参考文献第102-112页
作者攻读博士期间的研究成果和参与项目第112-114页

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