压电厚膜驱动的变形镜技术研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-12页 |
| 第1章 绪论 | 第12-34页 |
| ·自适应光学 | 第12-19页 |
| ·自适应光学原理 | 第12-14页 |
| ·自适应光学发展历程 | 第14-16页 |
| ·自适应光学应用 | 第16-19页 |
| ·变形镜 | 第19-31页 |
| ·变形镜结构形式 | 第19-20页 |
| ·变形镜主要性能指标 | 第20-21页 |
| ·典型变形镜结构分析 | 第21-28页 |
| ·变形镜性能比较 | 第28-30页 |
| ·国内变形镜技术发展现状 | 第30-31页 |
| ·研究目的和意义 | 第31-32页 |
| ·本论文内容及结构 | 第32-34页 |
| 第2章 压电厚膜MEMS变形镜设计 | 第34-56页 |
| ·变形镜校正性能优化 | 第34-40页 |
| ·压电厚膜MEMS变形镜 | 第34-35页 |
| ·Zernike多项式 | 第35-37页 |
| ·影响函数矩阵法重构面形 | 第37-38页 |
| ·变形镜波前校正性能优化 | 第38-40页 |
| ·变形镜结构参数优化 | 第40-50页 |
| ·压电MEMS变形镜数值模型 | 第40-45页 |
| ·致动器变形的解析与有限元比较 | 第45-46页 |
| ·变形镜结构参数优化 | 第46-50页 |
| ·变形镜设计总结 | 第50-52页 |
| ·复合式致动器研究 | 第52-54页 |
| ·复合式致动器工作原理 | 第52页 |
| ·致动器应力分析 | 第52-53页 |
| ·仿真及实验比较 | 第53-54页 |
| ·本章小结 | 第54-56页 |
| 第3章 压电厚膜MEMS变形镜制备与表征 | 第56-80页 |
| ·压电厚膜MEMS变形镜制备 | 第56-62页 |
| ·制备工艺流程 | 第56-58页 |
| ·关键工艺研究 | 第58-60页 |
| ·变形镜样机 | 第60-62页 |
| ·变形镜驱动电路制备 | 第62-66页 |
| ·驱动电路方案设计 | 第62-63页 |
| ·96通道驱动电源性能测试 | 第63-66页 |
| ·变形镜性能表征方法研究 | 第66-70页 |
| ·变形镜性能表征方法 | 第66-67页 |
| ·四步移相法重构镜面形貌原理 | 第67-68页 |
| ·镜面形貌测量实验 | 第68-70页 |
| ·变形镜性能表征 | 第70-78页 |
| ·致动器性能测试 | 第70-75页 |
| ·镜面性能测试 | 第75-78页 |
| ·本章小结 | 第78-80页 |
| 第4章 控制算法及校正性能研究 | 第80-100页 |
| ·基于波前探测的控制方法 | 第80-84页 |
| ·影响函数矩阵法 | 第81-82页 |
| ·基于最速下降法的波前反馈闭环控制算法 | 第82-84页 |
| ·变形镜校正性能分析 | 第84-89页 |
| ·初始而形校正 | 第84-86页 |
| ·Zernike多项式像差重构 | 第86-89页 |
| ·光束整形研究 | 第89-93页 |
| ·有像差系统的光学点扩散函数 | 第89-91页 |
| ·变形镜光束整形能力仿真 | 第91-93页 |
| ·基于搜索算法的控制方法 | 第93-96页 |
| ·模拟退火算法 | 第94-95页 |
| ·模拟退火算法校正仿真 | 第95-96页 |
| ·光斑整形实验研究 | 第96-99页 |
| ·光斑整形实验系统 | 第96-97页 |
| ·实验结果及分析 | 第97-99页 |
| ·本章小结 | 第99-100页 |
| 第5章 双驱动模式单压电片变形镜 | 第100-122页 |
| ·双驱动模式单压电片变形镜 | 第100-108页 |
| ·单压电片变形镜 | 第100-102页 |
| ·单压电片变形镜设计 | 第102-103页 |
| ·双驱动模式单压电片变形镜 | 第103-105页 |
| ·双驱动模式单压电片变形镜模型 | 第105-106页 |
| ·双驱动模式单压电片变形镜设计 | 第106-107页 |
| ·有限元仿真设计 | 第107-108页 |
| ·双驱动模式单压电片变形镜制备 | 第108-110页 |
| ·变形镜性能表征 | 第110-115页 |
| ·变形量表征 | 第110-112页 |
| ·工作带宽表征 | 第112-113页 |
| ·镜面质量表征 | 第113-115页 |
| ·变形镜校正性能表征 | 第115-119页 |
| ·Zernikc多项式重构 | 第115-117页 |
| ·光斑校正性能表征 | 第117-119页 |
| ·与国内外变形镜性能比较 | 第119-120页 |
| ·本章小结 | 第120-122页 |
| 第6章 总结与展望 | 第122-126页 |
| ·总结 | 第122-123页 |
| ·本论文主要工作 | 第122-123页 |
| ·本论文主要创新点 | 第123页 |
| ·展望 | 第123-126页 |
| ·压电厚膜MEMS变形镜 | 第123-124页 |
| ·双驱动模式单压电片变形镜 | 第124页 |
| ·变形镜的应用 | 第124-126页 |
| 参考文献 | 第126-136页 |
| 在读期间发表的学术论文与取得的其他研究成果 | 第136-138页 |
| 致谢 | 第138页 |
