| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-30页 |
| ·课题的提出 | 第11-12页 |
| ·MEMS 技术和微全分析系统简介 | 第12-15页 |
| ·MEMS 技术简介 | 第12-14页 |
| ·微全分析系统简介 | 第14-15页 |
| ·微流量传感器简介 | 第15-28页 |
| ·分类 | 第18-23页 |
| ·国内外研究现状 | 第23-28页 |
| ·本文主要工作 | 第28-30页 |
| 第二章 基于COMSOL的热温差式微流量传感器模拟分析 | 第30-47页 |
| ·热温差式微流量传感器原理 | 第30-33页 |
| ·COMSOL 热温差式微流量传感器模拟分析 | 第33-47页 |
| ·COMSOL 多物理场模拟仿真软件简介 | 第33-34页 |
| ·热温差微流量传感器原理仿真 | 第34-45页 |
| ·COMSOL 热温差式微流量传感器模拟仿真小结 | 第45-47页 |
| 第三章 传感器设计、电极制作及微流道集成封装 | 第47-68页 |
| ·传感器设计 | 第47页 |
| ·传感器电极制作 | 第47-59页 |
| ·传感器电极制作工艺 | 第48-50页 |
| ·双层胶Lift off 工艺制作玻璃基底热温差式微流量传感器电极 | 第50-53页 |
| ·直接法Lift off 工艺制作聚酰亚胺基底热温差式微流量传感器电极 | 第53-54页 |
| ·硅基底热温差式微流量传感器电极的制作 | 第54-59页 |
| ·传感器的管道集成封装 | 第59-68页 |
| ·玻璃基底热温差式微流量传感器电极的管道集成封装 | 第59-65页 |
| ·硅基热温差式微流量传感器电极的管道集成封装 | 第65-68页 |
| 第四章 硅基热温差式微流量传感器外围电路的设计及测试结果和讨论 | 第68-83页 |
| ·金电阻温度系数测试 | 第68-69页 |
| ·桥路转换电路设计及芯片测试 | 第69-77页 |
| ·桥路转换电路基本理论 | 第69-70页 |
| ·桥路转换理论计算 | 第70-73页 |
| ·微流量传感器的实际测试及讨论 | 第73-77页 |
| ·外围放大电路的设计 | 第77-83页 |
| ·前级放大电路设计 | 第78-79页 |
| ·低通滤波电路的设计 | 第79-80页 |
| ·后级放大电路的设计 | 第80页 |
| ·关于A/D 转换及控制器的考虑 | 第80-81页 |
| ·电源转换电路的设计 | 第81-82页 |
| ·前级放大电路的测试及讨论 | 第82-83页 |
| 第五章 总结与展望 | 第83-85页 |
| 参考文献 | 第85-88页 |
| 致谢 | 第88-89页 |
| 攻读硕士学位期间已发表的论文 | 第89页 |
