| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-20页 |
| ·课题背景及意义 | 第9-10页 |
| ·PZT电热材料的研究现状 | 第10-13页 |
| ·体相材料的电热效应研究进展 | 第10-12页 |
| ·薄膜材料的电热效应研究现状 | 第12-13页 |
| ·PZT电热材料概述 | 第13-16页 |
| ·PZT的晶体结构及特性 | 第13-14页 |
| ·PZT材料的性能与应用 | 第14-15页 |
| ·PZT电热材料的制冷原理 | 第15-16页 |
| ·PZT薄膜材料的制备技术 | 第16-19页 |
| ·脉冲激光法PLD | 第16-17页 |
| ·金属有机化合物气相沉积 | 第17页 |
| ·溅射法 | 第17-18页 |
| ·溶胶-凝胶法 | 第18-19页 |
| ·主要研究内容 | 第19-20页 |
| 第2章 试验材料与方法 | 第20-24页 |
| ·富锆PZT薄膜的制备 | 第20-22页 |
| ·实验原料与仪器 | 第20-21页 |
| ·富锆PZT溶胶及薄膜的制备 | 第21-22页 |
| ·富锆PZT粉体的物相与形貌分析 | 第22页 |
| ·干胶粉的热重/差热分析 | 第22页 |
| ·富锆PZT粉体傅里叶红外光谱分析 | 第22页 |
| ·富锆PZT晶化过程分析 | 第22页 |
| ·富锆PZT结晶粉的TEM分析 | 第22页 |
| ·富锆PZT薄膜的物相与形貌分析 | 第22-23页 |
| ·薄膜的相组成及取向分析 | 第22-23页 |
| ·薄膜的表面和断面形貌分析 | 第23页 |
| ·富锆PZT薄膜的电热性能测试 | 第23-24页 |
| ·上电极的制备 | 第23页 |
| ·薄膜电滞回线的测试 | 第23-24页 |
| 第3章 富锆PZT溶胶制备及粉体表征 | 第24-36页 |
| ·引言 | 第24页 |
| ·富锆PZT溶胶的制备 | 第24-28页 |
| ·成胶的关键因素 | 第24-27页 |
| ·富锆PZT溶胶的制备 | 第27-28页 |
| ·富锆PZT晶化过程分析及薄膜热处理工艺确定 | 第28-31页 |
| ·富锆PZT干胶粉的热行为分析 | 第28-29页 |
| ·富锆PZT粉体的红外分析 | 第29-30页 |
| ·富锆PZT粉体的物相分析 | 第30-31页 |
| ·富锆PZT结晶粉的形貌分析 | 第31-32页 |
| ·稀土La~(3+)掺杂PLZT粉体的差热及物相分析 | 第32-34页 |
| ·稀土La~(3+)掺杂PLZT粉体的差热/热失重分析 | 第32-33页 |
| ·稀土La~(3+)掺杂PLZT粉体的物相分析 | 第33-34页 |
| ·本章小结 | 第34-36页 |
| 第4章 富锆PZT薄膜的制备及取向生长机制 | 第36-67页 |
| ·引言 | 第36-37页 |
| ·择优取向富锆PZT薄膜的制备 | 第37-39页 |
| ·基片与电极 | 第37-38页 |
| ·择优取向富锆PZT薄膜的制备 | 第38-39页 |
| ·富锆PZT薄膜取向生长机制的探讨 | 第39-55页 |
| ·不同退火方式对富锆PZT薄膜取向及形貌的影响 | 第40-44页 |
| ·不同退火温度、时间对富锆PZT薄膜取向生长的影响 | 第44-47页 |
| ·不同预烧温度对富锆PZT(100)薄膜取向度的影响 | 第47-52页 |
| ·联合退火方式对富锆PZT(111)薄膜取向度的影响 | 第52-55页 |
| ·La~(3+)掺杂量对富锆PLZT薄膜取向生长的影响 | 第55-61页 |
| ·La~(3+)掺杂量对富锆PLZT薄膜(100)取向度的影响 | 第55-58页 |
| ·La~(3+)掺杂量对富锆PLZT薄膜(111)取向度的影响 | 第58-61页 |
| ·富锆PLZT薄膜的形貌分析 | 第61-65页 |
| ·富锆PLZT薄膜的表面、断口形貌(SEM)分析 | 第61-63页 |
| ·富锆PLZT薄膜的表面形貌(AFM)分析 | 第63-65页 |
| ·本章小结 | 第65-67页 |
| 第5章 富锆PZT薄膜的电热性能 | 第67-80页 |
| ·引言 | 第67页 |
| ·顶电极的制备 | 第67-68页 |
| ·富锆PZT薄膜的电性能测试 | 第68-70页 |
| ·富锆PZT薄膜的变温介电常数的测试 | 第68-69页 |
| ·富锆PZT薄膜的漏电流的测试 | 第69-70页 |
| ·择优取向富锆PZT、PLZT薄膜的电热效应 | 第70-79页 |
| ·富锆PZT薄膜的电热效应 | 第71-75页 |
| ·富锆PLZT薄膜的电热效应 | 第75-79页 |
| ·本章小结 | 第79-80页 |
| 结论 | 第80-81页 |
| 参考文献 | 第81-85页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第85-87页 |
| 致谢 | 第87页 |
