| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-10页 |
| 1 绪论 | 第10-26页 |
| ·研究背景 | 第10-11页 |
| ·微纳结构表面测量方法 | 第11-15页 |
| ·干涉显微法国内外研究现状及发展趋势 | 第15-24页 |
| ·本文的研究内容与创新 | 第24-26页 |
| 2 干涉显微测量模型 | 第26-37页 |
| ·光学干涉测量模型 | 第26-28页 |
| ·PSI 测量模型 | 第28-32页 |
| ·VSI 测量模型 | 第32-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 3 VSI 相位包络算法 | 第37-58页 |
| ·相位包络算法原理 | 第37-42页 |
| ·相位包络算法仿真研究 | 第42-51页 |
| ·材料反射相位的补偿 | 第51-54页 |
| ·相位包络算法及与其他算法的比较 | 第54-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 4 基于干涉显微原理的表面形貌测量系统 | 第58-72页 |
| ·激光频闪干涉视觉三维测量系统 | 第58-62页 |
| ·系统VSI 模式改进 | 第62-71页 |
| ·本章小结 | 第71-72页 |
| 5 系统测量实验和误差分析 | 第72-97页 |
| ·系统的PSI 测量误差现象及分析 | 第72-86页 |
| ·系统VSI 测量实验和分析 | 第86-96页 |
| ·本章小结 | 第96-97页 |
| 6 总结与展望 | 第97-100页 |
| ·全文总结 | 第97-98页 |
| ·今后工作的建议与展望 | 第98-100页 |
| 致谢 | 第100-101页 |
| 参考文献 | 第101-107页 |
| 附录1 攻读学位期间发表学术论文目录和专利授权情况 | 第107-108页 |
| 附录2 零光程差位置特征参数的证明 | 第108-109页 |