| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-9页 |
| 目录 | 第9-11页 |
| 插图目录 | 第11-13页 |
| 表格目录 | 第13-14页 |
| 第一章 绪论 | 第14-24页 |
| ·微光学器件的发展及其加工技术概述 | 第14-16页 |
| ·飞秒激光加工技术特点及其在微光学器件加工方面的研究进展 | 第16-20页 |
| ·飞秒激光及其加工特点 | 第16-17页 |
| ·在微光学器件加工上的应用及目前进展 | 第17-20页 |
| ·飞秒激光加工微光学器件中存在的问题 | 第20-22页 |
| ·加工区域对称性问题 | 第20-21页 |
| ·加工效率问题 | 第21-22页 |
| ·论文研究目的与意义 | 第22-23页 |
| ·论文的主要内容 | 第23-24页 |
| 第二章 飞秒激光加工微光学器件的理论基础 | 第24-36页 |
| ·飞秒激光与物质相互作用的机理和特点 | 第24-28页 |
| ·激光与物质作用的机理 | 第24-25页 |
| ·飞秒激光与物质作用的特点 | 第25-28页 |
| ·飞秒激光与光学材料作用时的特点 | 第28-31页 |
| ·飞秒激光与光学材料作用的机理 | 第28-29页 |
| ·飞秒激光诱导折光学材料射率变化的机理 | 第29-31页 |
| ·飞秒激光加工光波导的影响因素 | 第31-35页 |
| ·折射率变化的影响因素 | 第31-33页 |
| ·光波导传输损耗的产生机理和影响因素 | 第33-35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 第三章 光束整形改善加工区域对称性的理论分析与数值仿真 | 第36-55页 |
| ·垂直式加工引起加工区域的非对称 | 第36-39页 |
| ·两种加工方式对比 | 第36-38页 |
| ·引起非对称的原因 | 第38-39页 |
| ·目前的改进方法 | 第39-44页 |
| ·通过控制像散对光束进行整形 | 第39-42页 |
| ·通过引入狭缝光阑对光束进行整形 | 第42-44页 |
| ·前人工作小结 | 第44页 |
| ·光强分布理论分析 | 第44-51页 |
| ·两个方向上光强的空间分布 | 第44-45页 |
| ·两种光强分布一致的判据 | 第45-51页 |
| ·光束整形改进对称性的理论分析与模拟 | 第51-53页 |
| ·本章小结 | 第53-55页 |
| 第四章 利用自发多次聚焦进行并行加工的理论分析与数值仿真 | 第55-76页 |
| ·飞秒激光并行加工的现状 | 第55-58页 |
| ·自发多次聚焦的理论分析 | 第58-62页 |
| ·自聚焦的产生 | 第59-60页 |
| ·自聚焦的影响因素 | 第60-61页 |
| ·自聚焦的形式和自发多次聚焦的产生 | 第61-62页 |
| ·多焦点的数值模拟 | 第62-73页 |
| ·光波传输方程 | 第62-63页 |
| ·仅考虑自聚焦和衍射的相互作用 | 第63-65页 |
| ·综合考虑多种非线性效应的作用 | 第65-73页 |
| ·多焦点加工的可行性与可控性分析 | 第73-75页 |
| ·加工可行性 | 第73页 |
| ·加工可控性 | 第73-74页 |
| ·多焦点均匀化 | 第74-75页 |
| ·本章小结 | 第75-76页 |
| 第五章 飞秒激光加工光波导的实验研究 | 第76-92页 |
| ·加工系统介绍 | 第76-78页 |
| ·改进垂直式加工的实验研究 | 第78-84页 |
| ·平行式加工与垂直式加工的比较 | 第78-80页 |
| ·对垂直式加工的改进 | 第80-83页 |
| ·改进的垂直式加工总结 | 第83-84页 |
| ·多焦点并行加工实验研究 | 第84-91页 |
| ·多焦点的加工介绍 | 第84-85页 |
| ·加工实验及影响因素分析 | 第85-88页 |
| ·与单焦点加工结果对比 | 第88-90页 |
| ·多焦点加工小结 | 第90-91页 |
| ·本章小结 | 第91-92页 |
| 第六章 总结与展望 | 第92-95页 |
| ·工作总结 | 第92-93页 |
| ·存在的问题及对后续工作的展望 | 第93-95页 |
| 参考文献 | 第95-106页 |
| 攻读博士学位期间发表的文章 | 第106-107页 |
| 致谢 | 第107页 |
