长脉冲激光与半导体材料的热作用的数值分析
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 1 绪论 | 第7-14页 |
| ·引言 | 第7-8页 |
| ·激光对物质的加热、熔融和气化作用的研究现状 | 第8-12页 |
| ·激光与材料相互作用研究现状 | 第8-10页 |
| ·脉冲激光与半导体材料相互作用的研究现状 | 第10-12页 |
| ·激光与物质相互作用过程数值模拟研究的特点和问题 | 第12-13页 |
| ·本文的工作介绍 | 第13-14页 |
| 2 激光与物质相互作用的基础理论 | 第14-36页 |
| ·物质对激光的反射和吸收 | 第14-20页 |
| ·激光的吸收 | 第14-15页 |
| ·折射率和吸收系数 | 第15-17页 |
| ·半导体对光的吸收 | 第17-20页 |
| ·激光作用固体材料的热效应解析模型 | 第20-28页 |
| ·材料的热物理性质 | 第20-21页 |
| ·激光加热下物体的温度场 | 第21-26页 |
| ·激光加热问题的应用 | 第26-28页 |
| ·激光引起材料的熔化 | 第28-30页 |
| ·固—液态界面的移动速度 | 第28-29页 |
| ·液态迁移质量 | 第29-30页 |
| ·激光引起材料的气化和烧蚀 | 第30-36页 |
| ·激光气化的物理机制 | 第30-31页 |
| ·定态气化和质量迁移 | 第31-36页 |
| 3 有限元法在温度场分析中的应用 | 第36-44页 |
| ·建立有限元方程 | 第37-38页 |
| ·区域的剖分 | 第38-39页 |
| ·插值函数的确定 | 第39-41页 |
| ·单元总体合成 | 第41页 |
| ·瞬态温度场有限元的求解 | 第41-42页 |
| ·对于有相变有限元方程的求解 | 第42-44页 |
| ·固相率的提出 | 第42页 |
| ·相变导热微分方程式 | 第42页 |
| ·热焓法 | 第42-44页 |
| 4 长脉冲激光辐照半导体材料的研究 | 第44-55页 |
| ·热传导理论 | 第44-45页 |
| ·材料参数和激光参数 | 第45-55页 |
| ·材料阈值的计算 | 第45-46页 |
| ·激光与半无限大半导体材料相互作用的模拟 | 第46-47页 |
| ·激光与有限厚度的半导体材料相互作用的模拟 | 第47-49页 |
| ·激光与有限大材料相互作用 | 第49-55页 |
| 5 总结 | 第55-56页 |
| 致谢 | 第56-57页 |
| 参考文献 | 第57-60页 |
