| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-13页 |
| ·失效监测单元电路的研究意义 | 第8-12页 |
| ·本文的主要工作 | 第12-13页 |
| 第二章 栅氧击穿基本理论 | 第13-32页 |
| ·栅氧击穿 | 第13-27页 |
| ·栅氧化层内的电荷和电流 | 第13-17页 |
| ·栅氧击穿分类 | 第17-18页 |
| ·栅氧击穿机理和栅氧失效模型 | 第18-23页 |
| ·几种影响TDDB的相关因素 | 第23-27页 |
| ·栅氧击穿测量方法 | 第27-31页 |
| ·栅氧厚度 | 第27页 |
| ·栅氧电学特性 | 第27-31页 |
| ·小结 | 第31-32页 |
| 第三章 栅氧击穿监测单元电路设计 | 第32-61页 |
| ·栅氧击穿监测单元电路 | 第32-36页 |
| ·电路组成 | 第32-33页 |
| ·电路工作过程 | 第33-34页 |
| ·电路工作原理 | 第34-36页 |
| ·栅氧击穿监测单元电路设计 | 第36-59页 |
| ·栅氧击穿监测单元电路设计理论分析 | 第36-43页 |
| ·本文栅氧击穿监测单元电路的设计相关标准 | 第43-45页 |
| ·宿主电路 | 第45-49页 |
| ·栅氧击穿监测单元电路的设计方法和流程 | 第49页 |
| ·宿主电路是0.25um 工艺的栅氧击穿监测单元电路 | 第49-55页 |
| ·宿主电路是0.13um工艺的栅氧击穿监测单元电路 | 第55-59页 |
| ·栅氧击穿监测单元电路IP库组建前景 | 第59-60页 |
| ·小结 | 第60-61页 |
| 第四章 版图设计和实验验证设计 | 第61-72页 |
| ·栅氧击穿监测单元电路版图设计 | 第61-63页 |
| ·部分版图 | 第61-63页 |
| ·版图 | 第63页 |
| ·实验设计 | 第63-69页 |
| ·实验结果分析 | 第69-71页 |
| ·小结 | 第71-72页 |
| 结论 | 第72-74页 |
| 致谢 | 第74-76页 |
| 参考文献 | 第76-80页 |
| 研究成果 | 第80-81页 |
| 附录A TDDB的面积指数公式 | 第81-82页 |
| 附录B交流和脉冲情形下的栅氧击穿 | 第82-84页 |
| 附录C集成电路工艺和栅氧击穿发生的地方 | 第84-87页 |