| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-16页 |
| ·声表面波传感器的概述 | 第9-12页 |
| ·声表面波传感器发展应用 | 第12-14页 |
| ·论文主要研究内容及安排 | 第14-16页 |
| 第二章 声表面波传感器结构分析 | 第16-39页 |
| ·声表面波传感器理论基础 | 第16-23页 |
| ·声表面波传感器结构参数分析 | 第23-25页 |
| ·声表面波传感器频域传输特性 | 第25-33页 |
| ·声表面波传感器结构分析结果 | 第33-39页 |
| 第三章 声表面波传感器敏感薄膜制备及特性测试分析 | 第39-61页 |
| ·声表面波传感器敏感薄膜制备及表征 | 第39-43页 |
| ·声表面波传感器工作原理 | 第43-48页 |
| ·声表面波传感器特性测试及分析 | 第48-61页 |
| 第四章 结论及展望 | 第61-63页 |
| ·结论 | 第61页 |
| ·展望 | 第61-63页 |
| 致谢 | 第63-64页 |
| 参考文献 | 第64-68页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第68-69页 |