各向异性磁电阻传感器的研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstact | 第4-6页 |
| 目录 | 第6-9页 |
| 第一章 引言 | 第9-19页 |
| ·磁敏传感器 | 第9-11页 |
| ·磁敏传感器的研究意义 | 第9页 |
| ·磁敏传感器的分类 | 第9-11页 |
| ·各向异性磁电阻传感器 | 第11-15页 |
| ·各向异性磁电阻效应 | 第11-12页 |
| ·薄膜磁电阻元件 | 第12-14页 |
| ·各向异性磁电阻传感器的应用现状与发展前景 | 第14-15页 |
| ·本文的主要研究工作及进展 | 第15-17页 |
| 参考文献 | 第17-19页 |
| 第二章 磁电阻薄膜研究 | 第19-29页 |
| ·引言 | 第19页 |
| ·实验 | 第19-22页 |
| ·靶材的选择 | 第19-20页 |
| ·薄膜制备装置 | 第20-22页 |
| ·薄膜测试系统 | 第22页 |
| ·薄膜性能 | 第22-24页 |
| ·工艺因素影响 | 第24-26页 |
| ·溅射时基片温度对薄膜性能的影响 | 第24-25页 |
| ·溅射功率对薄膜性能的影响 | 第25-26页 |
| ·讨论 | 第26页 |
| ·本章小结 | 第26-28页 |
| 参考文献 | 第28-29页 |
| 第三章 各向异性磁电阻传感器的结构设计与优化 | 第29-40页 |
| ·引言 | 第29页 |
| ·磁电阻薄膜图形 | 第29-30页 |
| ·电极图形 | 第30-34页 |
| ·电流偏置 | 第30-32页 |
| ·电桥结构 | 第32页 |
| ·电极排列 | 第32-34页 |
| ·Barber的电极优化设计 | 第34-38页 |
| ·Barber电极原理 | 第34-35页 |
| ·有限元分析及优化设计 | 第35-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 参考文献 | 第39-40页 |
| 第四章 磁电阻单元的制备 | 第40-46页 |
| ·引言 | 第40页 |
| ·磁电阻单元的工艺过程 | 第40-42页 |
| ·磁电阻单元制备的关键工艺 | 第42-44页 |
| ·磁电阻条腐蚀 | 第42页 |
| ·Barber电极图形光刻 | 第42-43页 |
| ·磁电阻单元的表面处理 | 第43-44页 |
| ·本章小结 | 第44-45页 |
| 参考文献 | 第45-46页 |
| 第五章 测试系统及传感器单元性能 | 第46-56页 |
| ·引言 | 第46页 |
| ·测试系统 | 第46-50页 |
| ·亥姆霍兹线圈 | 第47-48页 |
| ·压控电流源 | 第48-49页 |
| ·恒流源 | 第49页 |
| ·C8051F060目标板 | 第49-50页 |
| ·测试结果与讨论 | 第50-54页 |
| ·传感器单元输出曲线 | 第50-51页 |
| ·不同角度的 Barber电极对应的输出曲线 | 第51-53页 |
| ·桥臂电阻对输出曲线的影响 | 第53页 |
| ·测试过程中的易磁化轴跳变 | 第53-54页 |
| ·本章小结 | 第54-56页 |
| 第六章 总结 | 第56-58页 |
| ·论文总结 | 第56页 |
| ·展望 | 第56-58页 |
| 作者发表论文 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59页 |
