第一章 金刚石的概述 | 第1-28页 |
·引言 | 第10页 |
·金刚石的结构 | 第10-11页 |
·金刚石的性质及应用 | 第11-15页 |
·人造金刚石的研究进展 | 第15-18页 |
·CVD 金刚石膜制备方法简介 | 第18-21页 |
·掺硼金刚石膜的研究进展 | 第21-23页 |
·掺硼金刚石膜的应用 | 第23-25页 |
·掺硼金刚石膜在微电子领域的应用 | 第23-24页 |
·掺硼金刚石膜在电化学领域的应用 | 第24-25页 |
·论文的选题及主要研究内容 | 第25-28页 |
第二章 EACVD 方法制备金刚石膜的设备及工艺简介 | 第28-42页 |
·电子辅助热灯丝(EACVD)方法简介 | 第28-33页 |
·实验设备简介 | 第28-30页 |
·真空系统 | 第30-31页 |
·热灯丝的选择 | 第31-32页 |
·EACVD 设备实验操作步骤 | 第32-33页 |
·CVD 金刚石的合成原理 | 第33-38页 |
·碳的P-T 相图 | 第33-34页 |
·CVD 金刚石的生长过程 | 第34-35页 |
·反应气体的分布 | 第35-36页 |
·氢原子的作用 | 第36-38页 |
·EACVD 金刚石膜沉积系统各种参数间的关系 | 第38-41页 |
·本章小结 | 第41-42页 |
第三章 -OH 键对金刚石膜生长特性的影响 | 第42-53页 |
·实验条件 | 第42-44页 |
·乙醇对金刚石膜生长速率及品质的影响 | 第44-47页 |
·乙醇对金刚石膜表面形貌的影响 | 第47-48页 |
·不同乙醇流量下制备的金刚石膜样品的XRD 测试 | 第48-50页 |
·乙醇流量对金刚石膜机械性能的影响 | 第50-51页 |
·本章小结 | 第51-53页 |
第四章 掺硼金刚石膜的制备及生长特性研究 | 第53-66页 |
·掺硼金刚石膜的制备 | 第53-56页 |
·硼源的选择 | 第53-55页 |
·EACVD 掺硼金刚石膜的制备 | 第55-56页 |
·掺硼金刚石膜的测试与分析 | 第56-65页 |
·硼掺杂对金刚石膜生长速率的影响 | 第56-57页 |
·硼掺杂金刚石膜的Raman 光谱分析 | 第57-60页 |
·掺硼金刚石膜生长均匀性 | 第60-61页 |
·硼掺杂对金刚石膜表面形貌及品质的影响 | 第61-64页 |
·偏流对掺硼金刚石膜表面形貌的影响 | 第64-65页 |
·本章小结 | 第65-66页 |
第五章 掺硼金刚石膜电学性质的研究 | 第66-83页 |
·掺硼金刚石膜的电学性质 | 第66-68页 |
·掺硼金刚石膜的霍耳迁移率 | 第68-70页 |
·重掺硼金刚石膜的超导特性 | 第70-75页 |
·掺硼金刚石膜的光反射特性 | 第75-81页 |
·本章小结 | 第81-83页 |
第六章 金刚石膜电极的电化学性能研究 | 第83-102页 |
·掺硼金刚石膜电极的表面及其结构分析 | 第83-86页 |
·金刚石膜电极电化学性能 | 第86-89页 |
·金刚石膜电极制备 | 第86-87页 |
·电极反应的动力学 | 第87-88页 |
·循环伏安法测试体系 | 第88-89页 |
·实验试剂 | 第89页 |
·掺硼金刚石膜电极的循环伏安(CV)特性曲线 | 第89-97页 |
·金刚石电极的电势窗口 | 第89-91页 |
·掺硼浓度对金刚石膜电极电化学窗口的影响 | 第91-94页 |
·不同电解液对金刚石膜电极电化学窗口的影响 | 第94-95页 |
·电解液中的溶解氧对金刚石膜电极电化学窗口的影响 | 第95-96页 |
·金刚石电极在亚铁氰化钾溶液中的循环伏安特性曲线 | 第96-97页 |
·微量有机化合物成分的探测 | 第97-100页 |
·本章小结 | 第100-102页 |
总结 | 第102-106页 |
参考文献 | 第106-119页 |
中文摘要 | 第119-123页 |
Abstract | 第123-129页 |
致谢 | 第129-130页 |
博士期间发表和提交的论文 | 第130页 |