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掺硼金刚石膜的制备及其电学性能研究

第一章 金刚石的概述第1-28页
   ·引言第10页
   ·金刚石的结构第10-11页
   ·金刚石的性质及应用第11-15页
   ·人造金刚石的研究进展第15-18页
   ·CVD 金刚石膜制备方法简介第18-21页
   ·掺硼金刚石膜的研究进展第21-23页
   ·掺硼金刚石膜的应用第23-25页
     ·掺硼金刚石膜在微电子领域的应用第23-24页
     ·掺硼金刚石膜在电化学领域的应用第24-25页
   ·论文的选题及主要研究内容第25-28页
第二章 EACVD 方法制备金刚石膜的设备及工艺简介第28-42页
   ·电子辅助热灯丝(EACVD)方法简介第28-33页
     ·实验设备简介第28-30页
     ·真空系统第30-31页
     ·热灯丝的选择第31-32页
     ·EACVD 设备实验操作步骤第32-33页
   ·CVD 金刚石的合成原理第33-38页
     ·碳的P-T 相图第33-34页
     ·CVD 金刚石的生长过程第34-35页
     ·反应气体的分布第35-36页
     ·氢原子的作用第36-38页
   ·EACVD 金刚石膜沉积系统各种参数间的关系第38-41页
   ·本章小结第41-42页
第三章 -OH 键对金刚石膜生长特性的影响第42-53页
   ·实验条件第42-44页
   ·乙醇对金刚石膜生长速率及品质的影响第44-47页
   ·乙醇对金刚石膜表面形貌的影响第47-48页
   ·不同乙醇流量下制备的金刚石膜样品的XRD 测试第48-50页
   ·乙醇流量对金刚石膜机械性能的影响第50-51页
   ·本章小结第51-53页
第四章 掺硼金刚石膜的制备及生长特性研究第53-66页
   ·掺硼金刚石膜的制备第53-56页
     ·硼源的选择第53-55页
     ·EACVD 掺硼金刚石膜的制备第55-56页
   ·掺硼金刚石膜的测试与分析第56-65页
     ·硼掺杂对金刚石膜生长速率的影响第56-57页
     ·硼掺杂金刚石膜的Raman 光谱分析第57-60页
     ·掺硼金刚石膜生长均匀性第60-61页
     ·硼掺杂对金刚石膜表面形貌及品质的影响第61-64页
     ·偏流对掺硼金刚石膜表面形貌的影响第64-65页
   ·本章小结第65-66页
第五章 掺硼金刚石膜电学性质的研究第66-83页
   ·掺硼金刚石膜的电学性质第66-68页
   ·掺硼金刚石膜的霍耳迁移率第68-70页
   ·重掺硼金刚石膜的超导特性第70-75页
   ·掺硼金刚石膜的光反射特性第75-81页
   ·本章小结第81-83页
第六章 金刚石膜电极的电化学性能研究第83-102页
   ·掺硼金刚石膜电极的表面及其结构分析第83-86页
   ·金刚石膜电极电化学性能第86-89页
     ·金刚石膜电极制备第86-87页
     ·电极反应的动力学第87-88页
     ·循环伏安法测试体系第88-89页
     ·实验试剂第89页
   ·掺硼金刚石膜电极的循环伏安(CV)特性曲线第89-97页
     ·金刚石电极的电势窗口第89-91页
     ·掺硼浓度对金刚石膜电极电化学窗口的影响第91-94页
     ·不同电解液对金刚石膜电极电化学窗口的影响第94-95页
     ·电解液中的溶解氧对金刚石膜电极电化学窗口的影响第95-96页
     ·金刚石电极在亚铁氰化钾溶液中的循环伏安特性曲线第96-97页
   ·微量有机化合物成分的探测第97-100页
   ·本章小结第100-102页
总结第102-106页
参考文献第106-119页
中文摘要第119-123页
Abstract第123-129页
致谢第129-130页
博士期间发表和提交的论文第130页

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