| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-11页 |
| 第一章 绪论 | 第11-20页 |
| ·研究背景 | 第11页 |
| ·纳米多层薄膜的简介 | 第11-12页 |
| ·纳米多层膜的分类 | 第12-17页 |
| ·同结构晶体/晶体纳米多层膜 | 第12-14页 |
| ·陶瓷/陶瓷纳米多层膜 | 第12-13页 |
| ·金属/金属纳米多层膜 | 第13-14页 |
| ·异结构晶体/晶体纳米多层膜 | 第14-16页 |
| ·陶瓷/陶瓷纳米多层膜 | 第15-16页 |
| ·金属/陶瓷纳米多层膜 | 第16页 |
| ·异结构晶体/非晶、非晶/非晶纳米多层膜 | 第16-17页 |
| ·本文的研究内容 | 第17-20页 |
| ·本文研究的组成薄膜的材料简介 | 第17-18页 |
| ·本研究的主要内容 | 第18页 |
| ·本研究的目的和意义 | 第18-20页 |
| 第二章 实验原理及测试表征 | 第20-30页 |
| ·薄膜样品制备过程 | 第20-21页 |
| ·实验装置简介及实验材料 | 第21-22页 |
| ·薄膜的结构表征 | 第22-24页 |
| ·X射线衍射(XRD) | 第22-23页 |
| ·扫描电子显微镜(SEM) | 第23页 |
| ·X射线光电子能谐((X-ray photoelectron spectroscopy, XPS) | 第23-24页 |
| ·透射电子显微镜(TEM) | 第24页 |
| ·薄膜的力学性质表征 | 第24-30页 |
| ·厚度 | 第24-25页 |
| ·残余应力测试 | 第25页 |
| ·纳米压痕测试(NANO-INDENTOR) | 第25-28页 |
| ·薄膜的硬度测最—两步压入法 | 第28-29页 |
| ·膜基结合力测试 | 第29-30页 |
| 第三章 薄膜的结构和性能表征 | 第30-58页 |
| ·制备单层REB_2薄膜 | 第30-35页 |
| ·制备单层REB_2簿膜试验参数的选取 | 第30-35页 |
| ·REB_2/TAN纳米多层膜的结构与性能表征 | 第35-41页 |
| ·REB_2/TAN纳米多层膜的制备 | 第35-36页 |
| ·REB_2/TAN纳米多层膜低角XRD衍射(XRR)分析 | 第36-39页 |
| ·多层膜横断面扫描电子显微镜(SEM)分析 | 第39-40页 |
| ·多层膜X射线光电子能谱(XPS)分析 | 第40-41页 |
| ·实验参数对REB_2/TAN纳米多层膜晶体结构和性能的影响 | 第41-51页 |
| ·调制周期对REB_2/TAN纳米多层膜结构和机械性能的影响 | 第41-46页 |
| ·调制比对REB_2/TAN纳米多层膜结构和机械性能的影响 | 第46-51页 |
| ·多层膜致硬机理分析 | 第51-56页 |
| ·超模效应分析 | 第51-52页 |
| ·超硬效应分析 | 第52-56页 |
| ·本章小结 | 第56-58页 |
| 第四章 问题与思考 | 第58-59页 |
| 参考文献 | 第59-63页 |
| 硕士在读期间发表的论文 | 第63-64页 |
| 硕士在读期间获得的奖励 | 第64-65页 |
| 致谢 | 第65页 |
