多晶SiC梳齿驱动器的结构分析与优化设计
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-7页 |
| 1.绪论 | 第7-13页 |
| ·微机电系统的发展概况 | 第7-8页 |
| ·MEMS的相关研究领域 | 第8页 |
| ·碳化硅材料性能及在MEMS中应用的发展概况 | 第8-11页 |
| ·SiC材料性能 | 第9-10页 |
| ·应用于MEMS中SiC薄膜材料的制备 | 第10页 |
| ·SiC薄膜在MEMS中的应用 | 第10-11页 |
| ·MEMSCAD现状 | 第11页 |
| ·课题的内容及目的 | 第11-13页 |
| 2.微驱动器驱动原理 | 第13-19页 |
| ·引言 | 第13页 |
| ·微驱动器驱动原理 | 第13-14页 |
| ·静电驱动原理 | 第14-18页 |
| ·平行板静电驱动结构 | 第15-16页 |
| ·平板悬臂梁静电驱动结构 | 第16-17页 |
| ·梳齿静电驱动结构 | 第17-18页 |
| ·本章小结 | 第18-19页 |
| 3.有限元法在结构设计及优化设计中的应用 | 第19-24页 |
| ·引言 | 第19页 |
| ·有限元法(FEM)理论 | 第19-20页 |
| ·有限元法在结构分析中的应用 | 第20-22页 |
| ·有限元法在优化设计中的应用 | 第22-23页 |
| ·结构优化模型 | 第22-23页 |
| ·结构优化算法 | 第23页 |
| ·本章小结 | 第23-24页 |
| 4.碳化硅梳齿驱动器的模态分析 | 第24-36页 |
| ·引言 | 第24页 |
| ·模态分析理论 | 第24-25页 |
| ·动力学基本理论 | 第25页 |
| ·应用有限元法对梳齿驱动器进行模态分析 | 第25-35页 |
| ·碳化硅梳齿驱动器有限元模型 | 第25-26页 |
| ·碳化硅梳齿驱动器有限元模态计算结果 | 第26-30页 |
| ·不同梳齿驱动器的模态分析 | 第30-35页 |
| ·计算结果分析 | 第35页 |
| ·本章小结 | 第35-36页 |
| 5.碳化硅梳齿驱动器的优化设计 | 第36-42页 |
| ·引言 | 第36页 |
| ·优化设计过程 | 第36-37页 |
| ·碳化硅梳齿驱动器的优化设计 | 第37-41页 |
| ·初始设计分析 | 第37-40页 |
| ·优化结果分析 | 第40-41页 |
| ·本章小结 | 第41-42页 |
| 6 谐响应分析 | 第42-47页 |
| ·引言 | 第42页 |
| ·谐响应分析理论 | 第42页 |
| ·分析过程 | 第42-46页 |
| ·结果分析 | 第46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 7.结束语 | 第47-48页 |
| 致谢 | 第48-49页 |
| 参考文献 | 第49-51页 |
| 作者在读期间研究成果 | 第51页 |
