| 摘要 | 第1-8页 |
| Abstract | 第8-13页 |
| 第1章 绪论 | 第13-25页 |
| ·铝及铝合金表面改性的进展与现状 | 第13-18页 |
| ·铝及铝合金应用 | 第13-14页 |
| ·铝合金表面改性的方法 | 第14-18页 |
| ·铝合金表面类金刚石薄膜改性研究现状 | 第18-20页 |
| ·类金刚石薄膜简介 | 第18页 |
| ·铝合金表面类金刚石薄膜改性 | 第18-20页 |
| ·铝合金表面类金刚石薄膜改性存在的难点 | 第20-22页 |
| ·复合、多层与梯度类金刚石薄膜 | 第22-23页 |
| ·本文的选题意义和研究内容 | 第23-25页 |
| 第2章 实验方法 | 第25-31页 |
| ·薄膜制备设备 | 第25-27页 |
| ·非平衡磁控溅射(UBMS)原理和设备 | 第25-26页 |
| ·微波电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积(ECR-PECVD)原理和设备 | 第26-27页 |
| ·基体材料的选择 | 第27页 |
| ·薄膜成分与结构表征 | 第27-29页 |
| ·X射线衍射(XRD) | 第27页 |
| ·激光Raman光谱 | 第27-28页 |
| ·SEM表面形貌分析 | 第28页 |
| ·AMBIOS XP-2台阶仪 | 第28-29页 |
| ·薄膜的机械性能评价 | 第29-31页 |
| ·显微硬度测量 | 第29页 |
| ·膜基结合性能评价 | 第29-30页 |
| ·摩擦磨损分析 | 第30页 |
| ·薄膜的耐腐蚀性能评价 | 第30-31页 |
| 第3章 DLC/TiN/Ti/Al多层复合薄膜的制备及检测 | 第31-46页 |
| ·TiN/Ti薄膜制备与评价 | 第31-38页 |
| ·TiN/Ti薄膜制备 | 第31-32页 |
| ·薄膜XRD分析 | 第32-33页 |
| ·薄膜厚度分析 | 第33-34页 |
| ·薄膜显微硬度分析 | 第34页 |
| ·薄膜摩擦磨损性能评价 | 第34-36页 |
| ·TiN/Ti/Al膜基结合性能分析 | 第36-38页 |
| ·DLC/TiN/Ti薄膜制备与评价 | 第38-45页 |
| ·复合薄膜的制备 | 第38-39页 |
| ·复合薄膜表面形貌分析 | 第39-40页 |
| ·薄膜激光拉曼光谱分析 | 第40-41页 |
| ·复合薄膜硬度分析 | 第41页 |
| ·复合薄膜摩擦磨损分析 | 第41-43页 |
| ·复合薄膜膜基结合性能评价 | 第43-45页 |
| ·小结 | 第45-46页 |
| 第4章 DLC/Si/Al多层复合薄膜的制备及检测 | 第46-59页 |
| ·DLC/Si多层薄膜的制备 | 第46页 |
| ·薄膜激光拉曼光谱分析 | 第46-48页 |
| ·薄膜内应力分析 | 第48-50页 |
| ·薄膜显微硬度分析 | 第50-51页 |
| ·薄膜菱形压痕分析 | 第51-52页 |
| ·薄膜膜基结合强度评价 | 第52-53页 |
| ·薄膜摩擦磨损性能评价 | 第53-57页 |
| ·本章小结 | 第57-59页 |
| 第5章 不同过渡层对薄膜机械性能的影响 | 第59-76页 |
| ·DLC/Al、DLC/Ti/Al、DLC/TiN/Ti/Al、DLC/Si/Al薄膜制备 | 第59-60页 |
| ·复合薄膜激光拉曼光谱分析 | 第60-61页 |
| ·多层薄膜硬度评价 | 第61页 |
| ·多层薄膜膜基结合力分析 | 第61-66页 |
| ·多层薄膜菱形压痕分析 | 第66-67页 |
| ·多层薄膜摩擦磨损检测 | 第67-70页 |
| ·多层薄膜耐腐蚀性能分析 | 第70-72页 |
| ·挤压-拉伸-摩擦探讨性分析 | 第72-74页 |
| ·小结 | 第74-76页 |
| 结论 | 第76-77页 |
| 致谢 | 第77-78页 |
| 参考文献 | 第78-82页 |
| 攻读硕士期间发表的论文 | 第82页 |
