基于平面波导的角度调制型表面等离子共振传感器的研究
| 致谢 | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-26页 |
| ·引言 | 第9-10页 |
| ·SPR生物传感器基本原理概述 | 第10-17页 |
| ·表面等离子波产生条件的电磁理论推导 | 第10-13页 |
| ·表面等离子体波耦合方式 | 第13-15页 |
| ·SPR传感器用于生物检测原理概述 | 第15-17页 |
| ·SPR生物传感器探测方法概述及研究进展 | 第17-21页 |
| ·SPR传感器的研究进展 | 第18-21页 |
| ·本文的主要创新点和章节安排 | 第21-23页 |
| 本章参考文献 | 第23-26页 |
| 第二章 器件设计相关理论基础 | 第26-38页 |
| ·光波导基本理论 | 第26-30页 |
| ·双平板波导耦合理论 | 第26-27页 |
| ·波导的弯曲损耗 | 第27-30页 |
| ·数值模拟方法 | 第30-37页 |
| ·转移矩阵理论 | 第30-31页 |
| ·FDTD理论 | 第31-37页 |
| 本章参考文献 | 第37-38页 |
| 第三章 集成光波导SPR传感器设计 | 第38-49页 |
| ·集成SPR光波导生物传感器研究背景 | 第38-40页 |
| ·平面波导集成SPR光波导生物传感器研究进展 | 第38-40页 |
| ·本设计基本原理 | 第40-41页 |
| ·具体结构设计 | 第41-48页 |
| ·入射波导设计 | 第42-44页 |
| ·金属层的选用和设计 | 第44-45页 |
| ·平板区域及输出波导阵列设计 | 第45-46页 |
| ·具体布局设计 | 第46-48页 |
| 本章参考文献 | 第48-49页 |
| 第四章 传感器制作工艺 | 第49-61页 |
| ·传感器掩膜设计方案 | 第49-52页 |
| ·传感器制作中的主要工艺 | 第52-57页 |
| ·光刻 | 第52-55页 |
| ·刻蚀 | 第55-56页 |
| ·金属溅射 | 第56-57页 |
| ·测试平台搭建以及测试方案 | 第57-60页 |
| 本章参考文献 | 第60-61页 |
| 第五章 SPR传感器应用以及本课题展望 | 第61-70页 |
| ·SPR传感器检测模式 | 第61-63页 |
| ·SPR传感器的应用 | 第63-65页 |
| ·SPR传感器在食品卫生与安全领域的应用 | 第63-64页 |
| ·SPR传感器在医学诊断领域的应用 | 第64-65页 |
| ·SPR传感器在环境监测领域的应用 | 第65页 |
| ·展望 | 第65-66页 |
| 本章参考文献 | 第66-70页 |
| 附录 | 第70页 |
| 作者简介 | 第70页 |
| 成果附录 | 第70页 |
