| 第一章 引言 | 第1-10页 |
| 第二章 微机电系统(MEMS) | 第10-16页 |
| ·MEMS研制背景 | 第10-11页 |
| ·需求牵引是MEMS发展的源泉 | 第10页 |
| ·技术推动是MEMS实现的保证 | 第10-11页 |
| ·研制内容 | 第11-13页 |
| ·设计技术 | 第11-12页 |
| ·材料 | 第12页 |
| ·制作工艺 | 第12-13页 |
| ·测试技术 | 第13页 |
| ·MEMS特点 | 第13页 |
| ·MEMS的技术特点 | 第13页 |
| ·适于批量生产 | 第13页 |
| ·MEMS国内外发展现状 | 第13-14页 |
| ·国外发展现状 | 第13-14页 |
| ·我国MEMS研制概况 | 第14页 |
| ·MEMS研究和发展方向 | 第14-16页 |
| 第三章 微型电磁极化继电器 | 第16-23页 |
| ·现状 | 第16页 |
| ·发展 | 第16-18页 |
| ·工作原理 | 第18页 |
| ·分类 | 第18-19页 |
| ·基本参数 | 第19-20页 |
| ·技术要求 | 第20-23页 |
| 第四章 结构设计 | 第23-38页 |
| ·触簧系统 | 第24-34页 |
| ·吸力特性与反力特性的配合 | 第25-27页 |
| ·簧片设计计算 | 第27-28页 |
| ·簧片柔度的计算 | 第28-30页 |
| ·簧片挠度的计算 | 第30-32页 |
| ·簧片机械特性的计算 | 第32页 |
| ·弹性材料 | 第32-34页 |
| ·电磁系统 | 第34-38页 |
| ·磁路设计 | 第34-36页 |
| ·磁路选定 | 第36-38页 |
| 第五章 优化设计 | 第38-48页 |
| ·优化设计方案 | 第38-40页 |
| ·等效磁路及其计算 | 第40-48页 |
| ·气隙磁导的计算 | 第40页 |
| ·永磁材料的选取与等效 | 第40-41页 |
| ·等效磁路 | 第41-48页 |
| 第六章 智能化检测系统设计 | 第48-53页 |
| ·测试原理及系统组成 | 第48-52页 |
| ·机械参数和测量 | 第48页 |
| ·电气参数测量 | 第48-50页 |
| ·测试系统的组成 | 第50-52页 |
| ·系统的智能化设计 | 第52-53页 |
| ·自检功能 | 第52页 |
| ·自动保护功能 | 第52-53页 |
| 第七章 可靠性验证 | 第53-61页 |
| ·电磁极化继电器的固有可靠性 | 第53-54页 |
| ·电磁极化继电器的使用可靠性 | 第54页 |
| ·电磁极化继电器的可靠性指标体系 | 第54-55页 |
| ·成功率的验证试验理论 | 第55-57页 |
| ·成功率验证试验的BAYES方法 | 第57-61页 |
| ·成功率的Bayes先验分布 | 第57-58页 |
| ·S(α，β，R_0，R_1)抽样方案的Bayes分析 | 第58-59页 |
| ·Bayes验证试验方案设计 | 第59-61页 |
| 第八章 结论 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-64页 |
| 致谢 | 第64-66页 |