硅微MEMS仿生矢量水声传感器研究

摘要	第1-6页
Abstract	第6-12页
第1章 绪论	第12-22页
·研究的背景和意义	第12-14页
·国内外矢量水声传感器发展现状	第14-17页
·MEMS仿生技术在矢量水声传感器中的应用展望	第17-19页
·本文研究的主要内容	第19-22页
第2章 硅微MEMS仿生矢量水声传感器的工作原理	第22-35页
·仿生机理	第22-25页
·鱼类侧线的信号识别	第24页
·鱼类侧线的信号定向	第24-25页
·敏感原理	第25-27页
·定向探测机理	第27-34页
·从声学理论角度分析矢量水声传感器的拾振条件	第27-29页
·应用振动学理论建立矢量水声传感器的拾振模型	第29-32页
·矢量水声传感器拾振条件分析	第32-33页
·矢量水声传感器定向探测分析	第33-34页
·本章小结	第34-35页
第3章 仿生微结构的设计与分析	第35-63页
·仿生微结构的设计	第35-36页
·仿生微结构的数学模型分析	第36-44页
·仿生微结构的数学模型设计	第36-38页
·仿生微结构的力学特性分析	第38-41页
·仿生微结构的频率特性分析	第41-44页
·仿生微结构的有限元仿真分析	第44-54页
·静力分析	第44-47页
·横向灵敏度仿真分析	第47-49页
·模态分析	第49-53页
·谐响应分析	第53-54页
·仿生微结构的压敏电阻设计	第54-59页
·压阻系数的确定	第54-55页
·压敏电阻条的结构及参数	第55-57页
·压敏电阻的布置及连接	第57-59页
·信号提取电路设计及其补偿	第59-62页
·信号提取电路设计	第59-60页
·温度补偿设计	第60-62页
·本章总结	第62-63页
第4章 仿生微结构的加工工艺	第63-73页
·四梁－中心连接体微结构的加工工艺	第63-70页
·工艺流程设计	第64-66页
·版图设计	第66-70页
·刚硬塑料柱体的粘接技术	第70-72页
·本章总结	第72-73页
第5章 硅微MEMS仿生矢量水声传感器的组装	第73-93页
·聚氨酯橡胶帽的制作	第73-79页
·聚氨酯橡胶帽的理论模型设计与分析	第73-77页
·聚氨酯橡胶帽的加工工艺	第77-79页
·传感器电缆的密封工艺设计	第79-80页
·传感器电缆的选择	第79页
·传感器电缆的密封工艺流程	第79-80页
·传感器封装外壳优化设计	第80-84页
·传感器的仿生封装	第84-90页
·传感器的仿生封装模型设计	第84-88页
·传感器的仿生封装技术	第88-90页
·传感器的组合封装	第90-91页
·本章总结	第91-93页
第6章 硅微MEMS仿生矢量水声传感器的测试	第93-114页
·传感器仿生微结构芯片的测试	第93-97页
·芯片的形貌测试	第93-95页
·芯片的应力特性测试	第95-97页
·传感器的性能验证实验	第97-103页
·仿生微结构的振动台验证实验	第97-100页
·传感器的水下验证实验	第100-103页
·传感器的校准实验	第103-109页
·传感器的灵敏度校准实验	第104-107页
·传感器的指向性校准实验	第107-108页
·传感器的等效噪声压谱级校准实验	第108-109页
·传感器的海试实验	第109-113页
·传感器的承压实验	第109-110页
·传感器的海上环境测试实验	第110-112页
·传感器的海上冲击信号测试实验	第112-113页
·本章总结	第113-114页
结束语	第114-118页
1.研究工作总结	第114-115页
2.主要研究成果	第115-116页
3.本文的特色	第116-117页
4. 工作展望	第117-118页
参考文献	第118-125页
攻读硕士期间发表的论文及所取得的研究成果	第125-127页
致谢	第127页