| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-14页 |
| 主要符号表 | 第14-16页 |
| 第一章 绪论 | 第16-32页 |
| ·课题提出背景及研究意义 | 第16-17页 |
| ·二维小尺寸检测技术概述 | 第17-20页 |
| ·基于衍射原理的二维小尺寸测量方法 | 第17-19页 |
| ·基于视觉直接测量的二维小尺寸测量方法 | 第19-20页 |
| ·通用成像模型下二维小尺寸视觉检测技术研究进展 | 第20-30页 |
| ·畸变参数估计方法 | 第20-24页 |
| ·基于特征的图像边缘检测 | 第24-28页 |
| ·点扩散函数PSF 估计方法 | 第28-30页 |
| ·研究进展分析 | 第30页 |
| ·论文的主要研究内容 | 第30-32页 |
| 第二章 基于同心圆几何约束的镜头畸变参数估计 | 第32-53页 |
| ·引言 | 第32页 |
| ·二维尺寸检测的通用成像模型 | 第32-36页 |
| ·线性成像模型下二维视觉检测计算公式 | 第32-35页 |
| ·畸变模型中待估参数分析 | 第35页 |
| ·径向畸变随ρd 的变化规律特性 | 第35-36页 |
| ·基于同心圆几何约束的镜头畸变参数估计 | 第36-42页 |
| ·畸变圆几何特性分析 | 第37-40页 |
| ·基于同心圆的畸变参数估计 | 第40-42页 |
| ·同心圆几何约束下畸变参数估计的仿真试验 | 第42-46页 |
| ·基于同心圆畸变图像的畸变参数估计试验及校正效果分析 | 第46-51页 |
| ·基于同心圆畸变图像的畸变参数估计测量系统 | 第47页 |
| ·实际同心圆畸变图像的畸变系数参数计算及畸变图像校正 | 第47-51页 |
| ·本章小结 | 第51-53页 |
| 第三章 边缘过渡区交叠的数学表征方法研究 | 第53-66页 |
| ·引言 | 第53页 |
| ·典型模糊核下边缘过渡区范围的确定方法 | 第53-56页 |
| ·典型的模糊核及对边缘的影响 | 第53-55页 |
| ·边缘过渡区范围的确定方法 | 第55-56页 |
| ·直线边缘过渡区数学表征方法研究 | 第56-62页 |
| ·无交叠直线边缘的过渡区数学表征 | 第56-58页 |
| ·两直线边缘交叠的过渡区数学表征 | 第58-62页 |
| ·曲线边缘自身局部交叠的数学表征方法研究 | 第62-65页 |
| ·本章小结 | 第65-66页 |
| 第四章 散焦图像的点扩散函数估计与尺寸检测 | 第66-78页 |
| ·引言 | 第66页 |
| ·基于ETM 的直线边缘检测关键问题分析 | 第66-67页 |
| ·广义高斯型点扩散函数(GGF-PSF)模型及其参数估计 | 第67-71页 |
| ·GGF-PSF 模型 | 第67-68页 |
| ·基于阶跃边缘点扩散函数数值差分估计方法与分析 | 第68-70页 |
| ·GGF-PSF 参数估计方法 | 第70-71页 |
| ·散焦图像的点扩散函数估计与尺寸检测实验 | 第71-76页 |
| ·散焦图像尺寸检测算法流程 | 第71-72页 |
| ·散焦图像的点扩散函数估计实验及结果分析 | 第72-75页 |
| ·散焦图像的尺寸检测实验及结果分析 | 第75-76页 |
| ·本章小结 | 第76-78页 |
| 第五章 两相邻边缘的边缘检测及其间距测量方法 | 第78-97页 |
| ·引言 | 第78页 |
| ·典型检测狭缝宽度光电方法的局限性分析 | 第78-82页 |
| ·衍射法对狭缝形状的限制 | 第78-80页 |
| ·视觉检测无交叠边缘模型适用性分析 | 第80-82页 |
| ·两相邻交叠边缘(TNOEs)间距的检测方法 | 第82-89页 |
| ·两平行交叠直线边缘(TPOEs)的一维建模 | 第82-84页 |
| ·基于傅立叶变换的两平行直线交叠边缘(TPOEs)间距检测 | 第84-89页 |
| ·基于傅里叶变换检测两相邻边缘间距的仿真试验 | 第89-93页 |
| ·狭缝宽度检测实验及结果分析 | 第93-95页 |
| ·本章小结 | 第95-97页 |
| 第六章 基于模糊核能量分布BKED 的微圆边缘检测方法 | 第97-112页 |
| ·引言 | 第97页 |
| ·微圆半径与GMLM 的函数关系 | 第97-102页 |
| ·微圆边缘灰度分布的定性分析 | 第97-100页 |
| ·微圆半径计算方程的推导 | 第100-102页 |
| ·基于BKED 的微圆半径简化计算方程 | 第102-105页 |
| ·基于BKED 的微圆边缘检测方法 | 第105-106页 |
| ·微圆边缘检测实验 | 第106-111页 |
| ·微圆边缘检测仿真实验及结果分析 | 第106-107页 |
| ·圆孔半径检测实验及结果分析 | 第107-111页 |
| ·本章小结 | 第111-112页 |
| 结论与展望 | 第112-114页 |
| 参考文献 | 第114-119页 |
| 攻读博士学位期间取得的研究成果 | 第119-121页 |
| 致谢 | 第121页 |
