具有择优取向的多晶铁电薄膜的力学性能研究
| 摘要 | 第1-6页 |
| Abstract | 第6-15页 |
| 第1章 绪论 | 第15-33页 |
| ·课题背景及研究的目的和意义 | 第15-16页 |
| ·多晶铁电薄膜材料弹性性能研究 | 第16-21页 |
| ·铁电薄膜材料 | 第16-17页 |
| ·多晶铁电薄膜材料有效弹性性能的计算 | 第17-18页 |
| ·多晶薄膜材料弹性性能实验研究 | 第18-21页 |
| ·铁电薄膜材料残余应力研究现状 | 第21-24页 |
| ·薄膜材料残余应力分类及来源 | 第21-22页 |
| ·铁电薄膜材料残余应力测试的研究进展 | 第22-24页 |
| ·薄膜材料断裂问题的研究进展 | 第24-31页 |
| ·脆性薄膜材料断裂问题研究进展 | 第24-30页 |
| ·薄膜基底材料屈曲分析研究进展 | 第30-31页 |
| ·本文主要研究内容 | 第31-33页 |
| 第2章 多晶薄膜材料的有效弹性性能 | 第33-48页 |
| ·引言 | 第33页 |
| ·多晶薄膜参考坐标系及取向平均 | 第33-38页 |
| ·坐标系建立与坐标转换 | 第33-35页 |
| ·取向分布函数 | 第35-36页 |
| ·宏观等效性能 | 第36-38页 |
| ·理论模型 | 第38-41页 |
| ·Voigt模型 | 第38-39页 |
| ·Reuss模型 | 第39页 |
| ·Voigt-Reuss-Hill模型 | 第39-40页 |
| ·Vook–Witt模型 | 第40-41页 |
| ·数值计算与讨论 | 第41-46页 |
| ·理想织构薄膜数值结果 | 第41-43页 |
| ·织构弥散对多晶铁电薄膜力学性能的影响 | 第43-46页 |
| ·本章小节 | 第46-48页 |
| 第3章 铁电多晶薄膜弹性性能的实验研究 | 第48-63页 |
| ·引言 | 第48页 |
| ·铁电材料制备 | 第48-49页 |
| ·溶胶凝胶制备PZT薄膜 | 第48-49页 |
| ·磁控溅射制备PLT薄膜 | 第49页 |
| ·铁电薄膜晶体结构及微观结构表征 | 第49-56页 |
| ·PZT铁电薄膜物相分析 | 第49-50页 |
| ·PZT薄膜织构分析 | 第50-52页 |
| ·PZT薄膜相表面分析 | 第52-54页 |
| ·PLT铁电薄膜相组成结构分析 | 第54-56页 |
| ·压痕模量及硬度的实验研究 | 第56-62页 |
| ·压痕模量及硬度的定义 | 第56-57页 |
| ·PZT薄膜的力学性能 | 第57-61页 |
| ·PLT薄膜的力学性能 | 第61-62页 |
| ·本章小结 | 第62-63页 |
| 第4章 多晶铁电薄膜残余应力研究 | 第63-79页 |
| ·引言 | 第63页 |
| ·随机取向铁电薄膜残余应力的衍射分析 | 第63-67页 |
| ·理想织构铁电薄膜残余应力的衍射分析 | 第67-70页 |
| ·晶面族方法 | 第67-68页 |
| ·基于VRH的平均方法 | 第68-69页 |
| ·考虑压电效应影响的理想织构薄膜衍射分析 | 第69-70页 |
| ·考虑织构弥散的铁电薄膜的衍射分析 | 第70-72页 |
| ·取向分布函数的影响 | 第70-71页 |
| ·几种模型的数值分析 | 第71-72页 |
| ·溶胶凝胶制备的PZT薄膜残余应力分析 | 第72-75页 |
| ·磁控溅射制备的PLT薄膜残余应力分析 | 第75-77页 |
| ·本章小节 | 第77-79页 |
| 第5章 多晶铁电薄膜的破坏分析 | 第79-103页 |
| ·引言 | 第79页 |
| ·多晶铁电薄膜大载荷压痕的实验研究 | 第79-90页 |
| ·大载荷压痕下PLT薄膜的崩裂分析 | 第79-87页 |
| ·界面断裂韧性计算 | 第87-90页 |
| ·有限元模拟压痕过程 | 第90-102页 |
| ·模型建立与分析 | 第90页 |
| ·各向同性PLT薄膜的应力应变场 | 第90-97页 |
| ·铁电薄膜残余应力对薄膜压痕过程的影响 | 第97-98页 |
| ·电极层塑性性能对薄膜压痕过程的影响 | 第98-100页 |
| ·不同取向薄膜压痕过程分析 | 第100-102页 |
| ·本章小结 | 第102-103页 |
| 结论 | 第103-105页 |
| 参考文献 | 第105-118页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文及其它成果 | 第118-121页 |
| 致谢 | 第121-122页 |
| 个人简历 | 第122页 |
